应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 有谁知道怎么测试厚度约为80埃的薄膜？
151/2返回列表12下一页
查看: 2042  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lixiaolong8_

新虫 (初入文坛)

[求助] 有谁知道怎么测试厚度约为80埃的薄膜？ 已有6人参与

如题，有没有同仁知道用什么方法可以测量ITO/Ag/ITO中顶层ITO薄膜的厚度（约80埃）？探针法的精确度也很难达到。拜托拜托~~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
随心随性随缘
1楼 2014-03-07 11:42:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-03-10 08:34:35
lixiaolong8_: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-05-15 14:11:46
椭偏仪或白光干涉仪
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2014-03-07 15:52:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lixiaolong8_

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-07 15:52:00
椭偏仪或白光干涉仪

椭偏仪的精度也达不到，SEM和场发射又只能检测断面上的膜厚。。。
赞一下(1人) 回复此楼
随心随性随缘
4楼2014-03-14 18:36:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

maya5428

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2014-03-10 08:34:31
看SEM的截面照片不就可以吗。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
2楼2014-03-07 15:03:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lixiaolong8_ at 2014-03-14 18:36:46
椭偏仪的精度也达不到，SEM和场发射又只能检测断面上的膜厚。。。...

怎么可能？椭偏仪的精度最差的也要0.1A啊。IC上的栅氧层比你这个薄多了，都是用椭偏测的。
赞一下 回复此楼
5楼2014-03-25 17:47:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chemlh

荣誉版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

台阶仪      就是测膜厚的
赞一下 回复此楼
没有伞的孩子，必须努力奔跑！Ibelieve,Ican.
6楼2014-03-25 17:49:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

azuoin

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-25 17:47:01
怎么可能？椭偏仪的精度最差的也要0.1A啊。IC上的栅氧层比你这个薄多了，都是用椭偏测的。...

椭偏仪应该可以。ITO厚度测量椭偏仪应用比较成熟
赞一下 回复此楼
7楼2014-04-29 09:50:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鲸鱼先生

木虫 (著名写手)

一条大鱼

【答案】应助回帖

穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-05-05 07:48:02
你做薄膜的时候留点空，然后用AFM扫描图像，用软件在图像上一划，就可以得出厚度来
赞一下 回复此楼
新的奋斗天天开始
8楼2014-05-04 20:20:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
chemlh: 欢迎积极交流 2014-05-05 18:47:58
离子溅射+XPS 测In、Sn的深度分布
赞一下 回复此楼
9楼2014-05-05 17:26:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MQWYY3

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

用台阶仪应该是可以的了
赞一下 回复此楼
愿得一人心 白首不相离
10楼2014-05-05 19:01:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lixiaolong8_ 的主题更新
151/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 急需审稿人！！！ +3 陆小果画大饼 2026-04-21 3/150 2026-04-21 23:54 by jzy_123456
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 8/400 2026-04-21 16:26 by 啃面包的小书虫
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[考研] 一志愿中科大材料与化工，353分还有调剂学校吗 +11 否极泰来2026 2026-04-15 13/650 2026-04-20 22:31 by Equinoxhua
[论文投稿] 期刊推荐 +3 材料研究生 2026-04-15 5/250 2026-04-20 16:02 by 豆豆7758
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考博] 申博 +3 Xyyx. 2026-04-18 3/150 2026-04-20 10:44 by YuY66
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 294求调剂 +15 淡然654321 2026-04-15 15/750 2026-04-19 08:20 by cuisz
[考研] 0854求调剂 +23 门路摸摸 2026-04-15 27/1350 2026-04-19 01:59 by 烟雨流涯
[考研] 300求调剂 +12 橙a777 2026-04-15 12/600 2026-04-18 23:51 by 路病情
[考研] 接受任何调剂 +6 也就是栗子 2026-04-17 7/350 2026-04-18 17:20 by 涵竹刘
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 260求调剂 +4 Zyt1314520.. 2026-04-17 5/250 2026-04-18 08:28 by babysonlkd
[考研] 急需调剂 +9 绝不放弃22 2026-04-15 10/500 2026-04-18 08:09 by chixmc
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭