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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 有谁知道怎么测试厚度约为80埃的薄膜？
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
说用台阶仪的请告诉我台阶怎么做
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11楼2014-05-06 09:27:29
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An-225

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-07 15:52:00
椭偏仪或白光干涉仪

透射电子显微镜
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12楼2014-05-06 09:39:49
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

椭偏仪可以，SEM断面测试也可以，XPS，SIMS也可以。80A厚度不是很薄。
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13楼2014-05-07 01:19:31
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lixiaolong8_

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2014-03-07 15:52:00
椭偏仪或白光干涉仪

对，椭偏仪。建好分析模型后就可以监测，主要难在建分析模型
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随心随性随缘
14楼2014-05-15 14:12:37
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detechcn

新虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
15楼2014-05-19 15:30:31
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