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PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？
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用PECVD设备镀非晶硅薄膜，镀出的膜明显偏薄，会是什么原因导致的呢？？ 求有经验的同学帮助啊。。 主要工艺参数：压强为2torr，辉光功率10w（功率密度100mw/cm2) |
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wlxiao3楼
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