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PECVD镀出的非晶硅膜偏薄,咋回事??
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用PECVD设备镀非晶硅薄膜,镀出的膜明显偏薄,会是什么原因导致的呢?? 求有经验的同学帮助啊。。 主要工艺参数:压强为2torr,辉光功率10w(功率密度100mw/cm2) |
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wlxiao3楼
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天涯sx5楼
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石头阿呆7楼
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姜博19888楼
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xiejf10楼
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lqshteacher11楼
2014-02-28 00:06
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wangkj12楼
2014-02-28 00:09
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westlife91113楼
2014-02-28 00:47
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syhorchid14楼
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风雨飘然15楼
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riverzhou16楼
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userhung17楼
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