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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？
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zebrawh

金虫 (小有名气)

[交流] PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？

用PECVD设备镀非晶硅薄膜，镀出的膜明显偏薄，会是什么原因导致的呢？？
求有经验的同学帮助啊。。
主要工艺参数：压强为2torr，辉光功率10w（功率密度100mw/cm2)
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1楼 2014-02-27 17:03:59
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zebrawh

金虫 (小有名气)
求指导啊
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34楼2014-02-28 12:59:38
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Gating

银虫 (小有名气)
★
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
气体流量呢？
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35楼2014-03-25 17:17:46
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meng7241

铁虫 (初入文坛)
★
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
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36楼2014-07-22 13:08:10
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
楼主的PECVD的设备是哪里买的啊？
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37楼2014-07-22 23:34:25
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bobo909

金虫 (正式写手)
★
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
楼主是哪里的，你们的设备能否对外开放？
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38楼2014-09-18 10:15:51
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匿名

用户注销 (正式写手)
★
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39楼2016-11-23 20:04:34
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yingying15882楼
2014-02-27 22:40   回复  
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wlxiao3楼
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cxjzly20084楼
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天涯sx5楼
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感恩的心26楼
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石头阿呆7楼
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姜博19888楼
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lefantian1229楼
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xiejf10楼
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lqshteacher11楼
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wangkj12楼
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westlife91113楼
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syhorchid14楼
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风雨飘然15楼
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riverzhou16楼
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userhung17楼
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辉靓实验18楼
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天涯201219楼
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peterflyer20楼
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miaojiabing21楼
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army88888822楼
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laom201323楼
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florahdu24楼
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yaoyao14525楼
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杨大松26楼
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anlong13827楼
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祝福LZ
qqaoqq28楼
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qq35366489329楼
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lzboy31530楼
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haixianyi131楼
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许洛32楼
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