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PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？
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用PECVD设备镀非晶硅薄膜，镀出的膜明显偏薄，会是什么原因导致的呢？？ 求有经验的同学帮助啊。。 主要工艺参数：压强为2torr，辉光功率10w（功率密度100mw/cm2) |
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38楼2014-09-18 10:15:51
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39楼2016-11-23 20:04:34
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2014-02-27 22:40
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wlxiao3楼
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wangkj12楼
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2014-02-28 00:47
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syhorchid14楼
2014-02-28 00:55
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riverzhou16楼
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userhung17楼
2014-02-28 06:23
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yaoyao14525楼
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anlong13827楼
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qqaoqq28楼
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