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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？
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zebrawh

金虫 (小有名气)

[交流] PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？

用PECVD设备镀非晶硅薄膜，镀出的膜明显偏薄，会是什么原因导致的呢？？
求有经验的同学帮助啊。。
主要工艺参数：压强为2torr，辉光功率10w（功率密度100mw/cm2)
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1楼 2014-02-27 17:03:59
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
楼主的PECVD的设备是哪里买的啊？
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37楼2014-07-22 23:34:25
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简单回复
wlxiao3楼
2014-02-27 22:46   回复  
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
查看全部 39 个回答
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