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zebrawh

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2368
帖子: 99
在线: 36.3小时
虫号: 1359756

[交流] PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？

用PECVD设备镀非晶硅薄膜，镀出的膜明显偏薄，会是什么原因导致的呢？？
求有经验的同学帮助啊。。
主要工艺参数：压强为2torr，辉光功率10w（功率密度100mw/cm2)

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1楼 2014-02-27 17:03:59

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

★
zebrawh(金币+1): 谢谢参与

楼主的PECVD的设备是哪里买的啊？

37楼2014-07-22 23:34:25

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 39 个回答

简单回复

wlxiao3楼

2014-02-27 22:46 回复

zebrawh(金币+1): 谢谢参与

查看全部 39 个回答