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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？
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zebrawh

金虫 (小有名气)

[交流] PECVD镀出的非晶硅膜偏薄，咋回事？？

用PECVD设备镀非晶硅薄膜，镀出的膜明显偏薄，会是什么原因导致的呢？？
求有经验的同学帮助啊。。
主要工艺参数：压强为2torr，辉光功率10w（功率密度100mw/cm2)
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1楼 2014-02-27 17:03:59
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匿名

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★
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
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39楼2016-11-23 20:04:34
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wlxiao3楼
2014-02-27 22:46   回复  
zebrawh(金币+1): 谢谢参与
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