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东方欲晓

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[求助] 没有紫外曝光机做光刻这样做可以吗？已有1人参与

没有紫外曝光设备，能不能用带有结构的金属掩膜版掩膜，用紫外灯照射一下，然后显影定影；就是想用光刻胶做掩膜，在特定区域里沉积材料，对精度不做要求。
这样做靠谱吗？

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1楼 2014-02-22 18:25:23

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东方欲晓

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引用回帖:

2楼: Originally posted by yswyx at 2014-02-25 16:34:43
可以的，不用光刻胶都可以。直接用你的金属掩模版做掩蔽，也可以直接沉积，就像IBM的C4工艺。
如果觉得精度不够，一定要采用光刻。建议用制造PCB版的光敏干膜，工艺更简单，对曝光的要求更低，比较容易实现。

可能怪我没说清楚，沉积材料的方法是电化学沉积