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东方欲晓

铁虫 (小有名气)

[求助] 没有紫外曝光机做光刻这样做可以吗? 已有1人参与

没有紫外曝光设备,能不能用带有结构的金属掩膜版掩膜,用紫外灯照射一下,然后显影定影;就是想用光刻胶做掩膜,在特定区域里沉积材料,对精度不做要求。
这样做靠谱吗?
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yswyx

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【答案】应助回帖

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东方欲晓: 金币+5, 有帮助 2014-02-25 22:55:14
可以的,不用光刻胶都可以。直接用你的金属掩模版做掩蔽,也可以直接沉积,就像IBM的C4工艺。
如果觉得精度不够,一定要采用光刻。建议用制造PCB版的光敏干膜,工艺更简单,对曝光的要求更低,比较容易实现。
2楼2014-02-25 16:34:43
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东方欲晓

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-02-25 16:34:43
可以的,不用光刻胶都可以。直接用你的金属掩模版做掩蔽,也可以直接沉积,就像IBM的C4工艺。
如果觉得精度不够,一定要采用光刻。建议用制造PCB版的光敏干膜,工艺更简单,对曝光的要求更低,比较容易实现。

可能怪我没说清楚,沉积材料的方法是电化学沉积
3楼2014-02-25 22:56:11
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 东方欲晓 at 2014-02-25 22:56:11
可能怪我没说清楚,沉积材料的方法是电化学沉积...

如果是电化学沉积,最好是用正经的光刻机来做厚胶光刻。PCB的方法,手艺要好,否则还是容易出缺陷。
4楼2014-03-07 15:46:41
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