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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » ALD（原子层沉积系统），
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liushui2588

金虫 (小有名气)

[求助] ALD（原子层沉积系统）， 已有2人参与

请问哪个单位有ALD（原子层沉积系统），在半导体上沉积几层氧化物，急求
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1楼 2014-02-20 09:46:34
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stephen91

禁虫
本帖内容被屏蔽
10楼2020-04-14 11:42:16
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
请确认 你基片的尺寸， 主要镀那几种薄膜， 以及厚度。 国内很多单位都有ALD 设备， 主要是能做的膜层种类各家不同。 可以相互交流 lisx2525@163.com
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2楼2014-02-21 13:37:48
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dulong107

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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liushui2588: 金币+50 2014-11-27 10:37:46
上海交通大学，复旦大学都有ALD设备，我就准备过去做氧化铝钝化膜。
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3楼2014-11-25 16:48:56
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杨露月yly

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dulong107 at 2014-11-25 16:48:56
上海交通大学，复旦大学都有ALD设备，我就准备过去做氧化铝钝化膜。

请问一下买一个这个系统一般要多少钱啊？！贵吗？
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4楼2015-01-10 13:38:23
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