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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » ALD（原子层沉积系统），
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liushui2588

金虫 (小有名气)

[求助] ALD（原子层沉积系统）， 已有2人参与

请问哪个单位有ALD（原子层沉积系统），在半导体上沉积几层氧化物，急求
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1楼 2014-02-20 09:46:34
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dulong107

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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liushui2588: 金币+50 2014-11-27 10:37:46
上海交通大学，复旦大学都有ALD设备，我就准备过去做氧化铝钝化膜。
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3楼2014-11-25 16:48:56
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dulong107

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 杨露月yly at 2015-01-10 13:38:23
请问一下买一个这个系统一般要多少钱啊？！贵吗？...

买一个不知道具体多少钱，我去复旦那边一个小时200块，你想能便宜嘛，估计至少百万。。。
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5楼2015-01-10 14:34:49
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