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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 前沿热点 » 【请教】是否可用XRD来测量膜厚（纳米级的薄膜）？
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huakaile

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】是否可用XRD来测量膜厚（纳米级的薄膜）？

最近我用层状组装的办法在石英片基底上得到了几百纳米厚的薄膜，想用X射线衍射方法去测量薄膜厚度，不知是否可以？

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-12 at 17:49 ]
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1楼 2008-01-18 15:37:57
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maocj

铁杆木虫 (小有名气)
直接做个sem不就可以知道了。
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2楼2008-01-19 00:05:14
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guodw05

木虫 (正式写手)
xrd可以测膜厚！
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3楼2008-01-22 09:43:36
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xiongying_swust

新虫 (正式写手)
可以测膜厚，不过对仪器和分析人员的能力要求都比较高
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4楼2008-01-23 13:11:18
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xiongying_swust

新虫 (正式写手)
曾经听过美国国家标准局一个教授的报告说还能用X射线来测量器件的标准度，比如两个聚合物点之间的距离，比用SEM都要准确
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5楼2008-01-23 13:13:07
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FePt

木虫 (正式写手)

XRD 小角衍射可以测量膜厚

用布拉格公式一推就知道了

一般对几十nm比较敏感，不过对XRD仪器有要求，要能做小角得XRD,一般小于5度

2楼说可以用SEM，请教如何测量？！是不是TEM写错了?赫赫
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6楼2008-02-25 11:11:21
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loverjyy

木虫 (小有名气)
楼上的能再详细的说一下如何用小角测量？？？？对于几个纳米的厚度能测量吗？？？？
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7楼2008-05-01 23:36:14
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saloon

木虫 (小有名气)
膜的厚度如果在十几个纳米到几个纳米的话，而且膜又未玻璃化，那是可以测的，如果膜的厚度太大，xrd就不能测，需要使用小角衍射
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8楼2008-05-02 06:43:54
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mnfe

金虫 (小有名气)
测sem断面是最直接的，用XRD小角掠入射也可计算膜厚
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9楼2008-05-02 10:28:47
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yhw9102

木虫 (小有名气)
如果膜厚在100nm以下 用SEM测不准的啦 呵呵
用xrd的仪器 用的方法是掠入射 测全反射的信号
可以准确测量几个纳米到几百纳米的膜厚
前提是基底很平整 最好是Si片或者玻璃
膜层也要很平整
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10楼2008-05-04 11:30:01
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