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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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huakaile

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】是否可用XRD来测量膜厚(纳米级的薄膜)?

最近我用层状组装的办法在石英片基底上得到了几百纳米厚的薄膜,想用X射线衍射方法去测量薄膜厚度,不知是否可以?

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-12 at 17:49 ]
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xiongying_swust

新虫 (正式写手)

可以测膜厚,不过对仪器和分析人员的能力要求都比较高
4楼2008-01-23 13:11:18
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maocj

铁杆木虫 (小有名气)

直接做个sem不就可以知道了。
2楼2008-01-19 00:05:14
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xiongying_swust

新虫 (正式写手)

曾经听过美国国家标准局一个教授的报告说还能用X射线来测量器件的标准度,比如两个聚合物点之间的距离,比用SEM都要准确
5楼2008-01-23 13:13:07
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FePt

木虫 (正式写手)

XRD 小角衍射可以测量膜厚

用布拉格公式一推就知道了

一般对几十nm比较敏感,不过对XRD仪器有要求,要能做小角得XRD,一般小于5度

2楼说可以用SEM,请教如何测量?!是不是TEM写错了?赫赫
6楼2008-02-25 11:11:21
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