应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 前沿热点 » 【请教】是否可用XRD来测量膜厚（纳米级的薄膜）？
121/2返回列表12下一页
查看: 2441  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

huakaile

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】是否可用XRD来测量膜厚（纳米级的薄膜）？

最近我用层状组装的办法在石英片基底上得到了几百纳米厚的薄膜，想用X射线衍射方法去测量薄膜厚度，不知是否可以？

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-12 at 17:49 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2008-01-18 15:37:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maocj

铁杆木虫 (小有名气)
直接做个sem不就可以知道了。
赞一下 回复此楼
2楼2008-01-19 00:05:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guodw05

木虫 (正式写手)
xrd可以测膜厚！
回复此楼
3楼2008-01-22 09:43:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiongying_swust

新虫 (正式写手)
可以测膜厚，不过对仪器和分析人员的能力要求都比较高
赞一下 回复此楼
4楼2008-01-23 13:11:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiongying_swust

新虫 (正式写手)
曾经听过美国国家标准局一个教授的报告说还能用X射线来测量器件的标准度，比如两个聚合物点之间的距离，比用SEM都要准确
赞一下 回复此楼
5楼2008-01-23 13:13:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FePt

木虫 (正式写手)

XRD 小角衍射可以测量膜厚

用布拉格公式一推就知道了

一般对几十nm比较敏感，不过对XRD仪器有要求，要能做小角得XRD,一般小于5度

2楼说可以用SEM，请教如何测量？！是不是TEM写错了?赫赫
赞一下 回复此楼
6楼2008-02-25 11:11:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

loverjyy

木虫 (小有名气)
楼上的能再详细的说一下如何用小角测量？？？？对于几个纳米的厚度能测量吗？？？？
赞一下 回复此楼
7楼2008-05-01 23:36:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

saloon

木虫 (小有名气)
膜的厚度如果在十几个纳米到几个纳米的话，而且膜又未玻璃化，那是可以测的，如果膜的厚度太大，xrd就不能测，需要使用小角衍射
赞一下 回复此楼
8楼2008-05-02 06:43:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mnfe

金虫 (小有名气)
测sem断面是最直接的，用XRD小角掠入射也可计算膜厚
赞一下 回复此楼
9楼2008-05-02 10:28:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yhw9102

木虫 (小有名气)
如果膜厚在100nm以下 用SEM测不准的啦 呵呵
用xrd的仪器 用的方法是掠入射 测全反射的信号
可以准确测量几个纳米到几百纳米的膜厚
前提是基底很平整 最好是Si片或者玻璃
膜层也要很平整
赞一下 回复此楼
10楼2008-05-04 11:30:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 huakaile 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 5/250 2026-11-02 06:39 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 7/350 2026-11-02 06:29 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-02 06:20 by xzcv0Tehd8lQ
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 17/850 2026-11-02 05:50 by xzcv0Tehd8lQ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 21/1050 2026-11-02 05:41 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 17/850 2026-11-02 05:34 by xzcv0Tehd8lQ
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 27/1350 2026-11-02 05:28 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 9/450 2026-11-02 03:26 by xzcv0Tehd8lQ
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 9/450 2026-11-02 03:05 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +6 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 9/450 2026-11-02 03:00 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 16/800 2026-11-02 02:47 by xzcv0Tehd8lQ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 X5bHxOULxFqb 2026-10-30 16/800 2026-11-02 02:34 by xzcv0Tehd8lQ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-01 22:27 by xzcv0Tehd8lQ
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 hKe7U1kad5Sg 2026-10-31 6/300 2026-11-01 22:11 by xzcv0Tehd8lQ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 11/550 2026-11-01 21:35 by xzcv0Tehd8lQ
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 8/400 2026-11-01 21:35 by xzcv0Tehd8lQ
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 xvJS1BYDxvBS 2026-10-31 3/150 2026-11-01 12:53 by BCdvBAEpt3zm
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 1uaZt2kAZj2S 2026-10-31 7/350 2026-11-01 12:40 by BCdvBAEpt3zm
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 1uaZt2kAZj2S 2026-10-30 10/500 2026-11-01 12:27 by BCdvBAEpt3zm
[考博] 2027博士申请-临床检验诊断学、病原生物学、微生物方向 50+3 yyh@ 2026-10-28 4/200 2026-10-31 12:47 by 可淡不可忘
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭