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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 前沿热点 » 【请教】是否可用XRD来测量膜厚（纳米级的薄膜）？
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zhangxud04

铜虫 (小有名气)
xrd测量膜厚的标准方法是X-ray全反射发，要求衍射仪有很好的角度分辨率和单色性，其精度很高。所谓小角度衍射发测量只能测多层膜的周期，从而计算膜厚。你查一下X-ray全反射发相关文献就知道了。
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11楼2008-06-12 09:58:51
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