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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 前沿热点 » 【请教】是否可用XRD来测量膜厚（纳米级的薄膜）？
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huakaile

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】是否可用XRD来测量膜厚（纳米级的薄膜）？

最近我用层状组装的办法在石英片基底上得到了几百纳米厚的薄膜，想用X射线衍射方法去测量薄膜厚度，不知是否可以？

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-12 at 17:49 ]
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1楼 2008-01-18 15:37:57
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zhangxud04

铜虫 (小有名气)
xrd测量膜厚的标准方法是X-ray全反射发，要求衍射仪有很好的角度分辨率和单色性，其精度很高。所谓小角度衍射发测量只能测多层膜的周期，从而计算膜厚。你查一下X-ray全反射发相关文献就知道了。
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11楼2008-06-12 09:58:51
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maocj

铁杆木虫 (小有名气)
直接做个sem不就可以知道了。
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2楼2008-01-19 00:05:14
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xiongying_swust

新虫 (正式写手)
可以测膜厚，不过对仪器和分析人员的能力要求都比较高
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4楼2008-01-23 13:11:18
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xiongying_swust

新虫 (正式写手)
曾经听过美国国家标准局一个教授的报告说还能用X射线来测量器件的标准度，比如两个聚合物点之间的距离，比用SEM都要准确
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5楼2008-01-23 13:13:07
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