24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1903  |  回复: 11
当前主题已经存档。

huakaile

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】是否可用XRD来测量膜厚(纳米级的薄膜)?

最近我用层状组装的办法在石英片基底上得到了几百纳米厚的薄膜,想用X射线衍射方法去测量薄膜厚度,不知是否可以?

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-12 at 17:49 ]
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maocj

铁杆木虫 (小有名气)

直接做个sem不就可以知道了。
2楼2008-01-19 00:05:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guodw05

木虫 (正式写手)

xrd可以测膜厚!
3楼2008-01-22 09:43:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiongying_swust

新虫 (正式写手)

可以测膜厚,不过对仪器和分析人员的能力要求都比较高
4楼2008-01-23 13:11:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiongying_swust

新虫 (正式写手)

曾经听过美国国家标准局一个教授的报告说还能用X射线来测量器件的标准度,比如两个聚合物点之间的距离,比用SEM都要准确
5楼2008-01-23 13:13:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FePt

木虫 (正式写手)

XRD 小角衍射可以测量膜厚

用布拉格公式一推就知道了

一般对几十nm比较敏感,不过对XRD仪器有要求,要能做小角得XRD,一般小于5度

2楼说可以用SEM,请教如何测量?!是不是TEM写错了?赫赫
6楼2008-02-25 11:11:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

loverjyy

木虫 (小有名气)

楼上的能再详细的说一下如何用小角测量????对于几个纳米的厚度能测量吗????
7楼2008-05-01 23:36:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

saloon

木虫 (小有名气)

膜的厚度如果在十几个纳米到几个纳米的话,而且膜又未玻璃化,那是可以测的,如果膜的厚度太大,xrd就不能测,需要使用小角衍射
8楼2008-05-02 06:43:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mnfe

金虫 (小有名气)

测sem断面是最直接的,用XRD小角掠入射也可计算膜厚
9楼2008-05-02 10:28:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yhw9102

木虫 (小有名气)

如果膜厚在100nm以下 用SEM测不准的啦 呵呵
用xrd的仪器 用的方法是掠入射 测全反射的信号
可以准确测量几个纳米到几百纳米的膜厚
前提是基底很平整 最好是Si片或者玻璃
膜层也要很平整
10楼2008-05-04 11:30:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 huakaile 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿郑大0705求调剂 +3 橘十一 2026-04-02 4/200 2026-04-05 00:05 by chongya
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-04-04 11/550 2026-04-04 23:58 by 永字号
[考研] 求调剂 一志愿西南交通大学085701环境工程 282分 +5 多多爱吃汉堡 2026-04-04 5/250 2026-04-04 22:14 by 啵啵啵0119
[考研] 325求调剂 +4 春风不借意 2026-04-04 4/200 2026-04-04 22:08 by 啵啵啵0119
[考研] 材料调剂 +10 懒羊羊轻置玉臀 2026-04-02 11/550 2026-04-04 21:56 by laoshidan
[考研] 调剂 +9 19945159693 2026-04-03 10/500 2026-04-04 20:16 by dongzh2009
[考研] 一志愿9材料学硕297已过六级求调剂推荐 +8 adaie 2026-04-04 9/450 2026-04-04 17:37 by oooqiao
[考研] 348分环境工程·调剂 +10 吴彦祖24k 2026-04-03 11/550 2026-04-04 14:19 by 无际的草原
[考研] 调剂0855-288 +5 x熊二a 2026-04-03 5/250 2026-04-04 00:19 by 猪会飞
[考研] 305求调剂 +3 77Qi 2026-04-03 3/150 2026-04-03 23:01 by qzxyhcsy
[考研] 350一志愿北京航空航天大学08500材料科学与工程求调剂 +5 kjnasfss 2026-04-03 5/250 2026-04-03 22:29 by 无际的草原
[考研] 材料与化工调剂一志愿大连海事085600,349 +11 吃的不少 2026-03-30 11/550 2026-04-03 18:05 by Jimmyandyou
[考研] 303求调剂 +10 DLkz1314. 2026-03-30 10/500 2026-04-03 18:03 by Jimmyandyou
[考研] 考研调剂 +8 不爱喝饮料 2026-04-03 8/400 2026-04-03 16:40 by Mistake-J
[考研] 071000生物学调剂 +8 知昭蔓 2026-04-02 8/400 2026-04-03 10:36 by macy2011
[考研] 311求调剂一志愿合肥工业大学 +15 秋二十二 2026-03-30 15/750 2026-04-03 10:19 by linyelide
[考研] 一志愿北京科技大学085601材料工程英一数二初试总分335求调剂 +8 双马尾痞老板2 2026-04-02 9/450 2026-04-02 14:45 by 5896
[考研] 311求调剂 +14 蓝月亮亮 2026-03-30 14/700 2026-04-02 12:18 by 1753564080
[考研] 271求调剂 +15 勒布朗@ 2026-03-31 20/1000 2026-04-02 11:24 by Sammy2
[考研] 279求调剂 +12 j的立方 2026-03-29 12/600 2026-03-30 20:30 by dick_runner
信息提示
请填处理意见