24小时热门版块排行榜    

查看: 2211  |  回复: 11
当前主题已经存档。

huakaile

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】是否可用XRD来测量膜厚(纳米级的薄膜)?

最近我用层状组装的办法在石英片基底上得到了几百纳米厚的薄膜,想用X射线衍射方法去测量薄膜厚度,不知是否可以?

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-12 at 17:49 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maocj

铁杆木虫 (小有名气)

直接做个sem不就可以知道了。
2楼2008-01-19 00:05:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guodw05

木虫 (正式写手)

xrd可以测膜厚!
3楼2008-01-22 09:43:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiongying_swust

新虫 (正式写手)

可以测膜厚,不过对仪器和分析人员的能力要求都比较高
4楼2008-01-23 13:11:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiongying_swust

新虫 (正式写手)

曾经听过美国国家标准局一个教授的报告说还能用X射线来测量器件的标准度,比如两个聚合物点之间的距离,比用SEM都要准确
5楼2008-01-23 13:13:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FePt

木虫 (正式写手)

XRD 小角衍射可以测量膜厚

用布拉格公式一推就知道了

一般对几十nm比较敏感,不过对XRD仪器有要求,要能做小角得XRD,一般小于5度

2楼说可以用SEM,请教如何测量?!是不是TEM写错了?赫赫
6楼2008-02-25 11:11:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

loverjyy

木虫 (小有名气)

楼上的能再详细的说一下如何用小角测量????对于几个纳米的厚度能测量吗????
7楼2008-05-01 23:36:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

saloon

木虫 (小有名气)

膜的厚度如果在十几个纳米到几个纳米的话,而且膜又未玻璃化,那是可以测的,如果膜的厚度太大,xrd就不能测,需要使用小角衍射
8楼2008-05-02 06:43:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mnfe

金虫 (小有名气)

测sem断面是最直接的,用XRD小角掠入射也可计算膜厚
9楼2008-05-02 10:28:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yhw9102

木虫 (小有名气)

如果膜厚在100nm以下 用SEM测不准的啦 呵呵
用xrd的仪器 用的方法是掠入射 测全反射的信号
可以准确测量几个纳米到几百纳米的膜厚
前提是基底很平整 最好是Si片或者玻璃
膜层也要很平整
10楼2008-05-04 11:30:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 huakaile 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +23 医学老男孩 2026-08-13 49/2450 2026-08-14 20:02 by zhaifei
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +6 majunge000 2026-08-11 8/400 2026-08-14 14:44 by 医学老男孩
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[基金申请] 好奇怪的filecode +6 布布和一二 2026-08-08 7/350 2026-08-14 13:38 by Equinoxhua
[论文投稿] 职称评审,求友友推荐见刊最快的期刊 +5 工厂打螺丝 2026-08-08 5/250 2026-08-14 11:03 by 玖戈弋
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +10 Tide man 2026-08-10 11/550 2026-08-14 10:30 by 沁言学术
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[硕博家园] 一作与独作在应聘高校教师时区别大吗 +3 mbygzh 2026-08-08 4/200 2026-08-13 19:31 by 龙-樱
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见