24小时热门版块排行榜    

查看: 1545  |  回复: 4
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

pof

铜虫 (小有名气)


[交流] SIMS的分辨率问题

用SIMS做表征,垂直于表面打下去,请问纵向的分辨率能达到多少?
举个例子,一个半导体多层结构,每一层某种元素掺杂/非掺杂交替,每一层厚度是200nm,这种情况下,用SIMS能清楚分辨掺杂层和非掺杂层吗,得到的结果中,非掺杂层中也有掺杂元素(还挺高,且与相邻的掺杂层浓度有关),请问这个现像是由结构生长过程中的diffusion引起的,还是由SIMS本身带来的误差?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

temple81

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
分辨率不清楚,但是200nm的厚度绝对可以区分;我们自己测试到50nm都可以确认。
至于第二个,一般都是扩散导致。
4楼2014-02-12 15:45:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
问题不大,静态SIMS属于表面分析的,十几个nm顶多了
2楼2014-01-28 08:18:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pof

铜虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-28 01:18:53
问题不大,静态SIMS属于表面分析的,十几个nm顶多了

你好,请问十几个nm指的是什么呢,我手中的结果是从表面到内部4um左右,每一层结构大概200nm, 您的意思是分辨率在十几个nm,那么结果中的profile就差不多反映了真实的掺杂元素浓度,对吗?
SIMS的分辨率问题
图片1.jpg

[ Last edited by pof on 2014-1-28 at 16:58 ]
3楼2014-01-28 23:57:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pof

铜虫 (小有名气)


引用回帖:
4楼: Originally posted by temple81 at 2014-02-12 08:45:02
分辨率不清楚,但是200nm的厚度绝对可以区分;我们自己测试到50nm都可以确认。
至于第二个,一般都是扩散导致。

你好,我们怀疑是受样品表面影响,又做了一次SIMS, 结果发现上次的结果中,非掺杂层出现的Ga是由于样品表面(不洁净)杂质引起的。在选择洁净区域进行的测试中,没有出现非掺杂层有高浓度Ga的情况。
5楼2014-02-14 15:56:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] FileCode能看出啥? +8 要乐观耀哥 2026-08-10 21/1050 2026-08-12 16:08 by 云上清扬
[基金申请] filecode +13 documentary 2026-08-10 15/750 2026-08-12 15:56 by 云上清扬
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +22 Lanmanbaby 2026-08-09 35/1750 2026-08-12 14:38 by sdfapple719
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +3 majunge000 2026-08-11 4/200 2026-08-11 20:13 by lch2012
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制,评价高的钱多评价低的钱少,但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧,后缀研究没有意义,别浪费时间了,过好目前的每一天,不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
信息提示
请填处理意见