应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » SIMS的分辨率问题
51/1返回列表
查看: 1297  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

pof

铜虫 (小有名气)

[交流] SIMS的分辨率问题

用SIMS做表征，垂直于表面打下去，请问纵向的分辨率能达到多少？
举个例子，一个半导体多层结构，每一层某种元素掺杂/非掺杂交替，每一层厚度是200nm，这种情况下，用SIMS能清楚分辨掺杂层和非掺杂层吗，得到的结果中，非掺杂层中也有掺杂元素（还挺高，且与相邻的掺杂层浓度有关），请问这个现像是由结构生长过程中的diffusion引起的，还是由SIMS本身带来的误差？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2014-01-27 22:51:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

temple81

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
分辨率不清楚，但是200nm的厚度绝对可以区分；我们自己测试到50nm都可以确认。
至于第二个，一般都是扩散导致。
赞一下 回复此楼
4楼2014-02-12 15:45:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
问题不大，静态SIMS属于表面分析的，十几个nm顶多了
赞一下 回复此楼
2楼2014-01-28 08:18:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pof

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-01-28 01:18:53
问题不大，静态SIMS属于表面分析的，十几个nm顶多了

你好，请问十几个nm指的是什么呢，我手中的结果是从表面到内部4um左右，每一层结构大概200nm， 您的意思是分辨率在十几个nm，那么结果中的profile就差不多反映了真实的掺杂元素浓度，对吗？
SIMS的分辨率问题
图片1.jpg

[ Last edited by pof on 2014-1-28 at 16:58 ]
赞一下 回复此楼
3楼2014-01-28 23:57:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

pof

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by temple81 at 2014-02-12 08:45:02
分辨率不清楚，但是200nm的厚度绝对可以区分；我们自己测试到50nm都可以确认。
至于第二个，一般都是扩散导致。

你好，我们怀疑是受样品表面影响，又做了一次SIMS， 结果发现上次的结果中，非掺杂层出现的Ga是由于样品表面（不洁净）杂质引起的。在选择洁净区域进行的测试中，没有出现非掺杂层有高浓度Ga的情况。
赞一下 回复此楼
5楼2014-02-14 15:56:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭