版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

pof

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 41.5
帖子: 133
在线: 82.1小时
虫号: 718073

[交流] SIMS的分辨率问题

用SIMS做表征，垂直于表面打下去，请问纵向的分辨率能达到多少？
举个例子，一个半导体多层结构，每一层某种元素掺杂/非掺杂交替，每一层厚度是200nm，这种情况下，用SIMS能清楚分辨掺杂层和非掺杂层吗，得到的结果中，非掺杂层中也有掺杂元素（还挺高，且与相邻的掺杂层浓度有关），请问这个现像是由结构生长过程中的diffusion引起的，还是由SIMS本身带来的误差？

» 猜你喜欢

请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？已经有1人回复
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）已经有0人回复
无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有292人回复
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生已经有0人回复
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号已经有0人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

测试试样深度方向元素分布已经有14人回复
CCC 会议模板中关于图片分辨率问题的询问已经有5人回复
关于断面元素分布表征，EDS线扫可以吗？还是SIMS（二次离子质谱仪）？O(∩_∩)O谢谢已经有4人回复
文章中图的分辨率和大小问题已经有4人回复
关于投稿过程中TEM图的分辨率的问题已经有3人回复
求较好的金属XPS数据解释的文献已经有3人回复
扫描电镜样品喷碳后的导电性已经有13人回复
怎么由xps全谱图截取部分，拟合某一元素的xps图已经有5人回复
EDS能谱的分辨率问题已经有19人回复
看到有的杂志要求图片分辨率不能低于600dpi，有问题。已经有14人回复
投稿图片分辨率的问题已经有13人回复
英文文章里图片的分辨率问题，很急啊，大家帮帮我吧！已经有5人回复
求助：修改稿中图片分辨率的问题已经有18人回复
求解释关于显微镜的分辨率问题！已经有6人回复
未知样品，质谱685.48,有可能是分子量为663物质加纳的吗？可是分子量差1啊已经有4人回复
【元素分析专题】确认所含元素的方法有哪些，各有什么特点已经有14人回复
紧急求助，论文接受后的问题，如何提高图片分辨率已经有9人回复
【专题】我想问问能谱测试中合金中的B元素能否打出来？已经有21人回复
关于TEM照片分辨率问题已经有6人回复
【交流】XPS仪器厂商性能大比拼已经有3人回复
【求助】关于XPS问题请教各位虫友已经有5人回复
【求助】关于XPS谱图中FWHM 已经有5人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2014-01-27 22:51:36

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

temple81

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 271.4
帖子: 178
在线: 2.7小时
虫号: 26712

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

分辨率不清楚，但是200nm的厚度绝对可以区分；我们自己测试到50nm都可以确认。
至于第二个，一般都是扩散导致。

4楼2014-02-12 15:45:02

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 pof 的主题更新