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dignity321

新虫 (初入文坛)

[交流] 大家看看这个镍膜的SEM为什么变成这个样子了... 已有5人参与

大家看看这个镍膜的SEM为什么变成这个样子了...
上图是我用硅/二氧化硅/50nm镍膜上进行RTP快速退火后的镍膜的SEM图像,温度900度,图中亮的部分应该是镍,但是不知道为什么镍变成这个样子了,按理来说镍的熔点很高,不应该融化变成这个样子啊,不知道有人知道这是怎么回事吗?
是在高纯氩气氛下进行的退火。
退火前的镍膜SEM图如下:
大家看看这个镍膜的SEM为什么变成这个样子了...-1

[ Last edited by dignity321 on 2014-1-19 at 15:56 ]
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mdysktm

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这不是融化吧,是退火时表面应力收缩形成的动心吧
天道酬勤
4楼2014-01-20 10:40:51
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frankcs

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可能是热膨胀的问题

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-01-19 19:30:20
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这是镍薄膜受热后再结晶行程的晶颗粒(Grain)。镍的熔点很高是指体材料。长在绝缘体薄膜上的镍薄膜就完全两回事了,因为导热为零,加热效果特好。如果镍膜厚度增加,比如到100纳米,可能性就低了一倍,因为热容量提高了。这种现象在金薄膜上更常见。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
3楼2014-01-19 21:41:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
纳米颗粒由于表面能高,熔点比块体材料低很多。因此虽然镍的熔点为1735摄氏度左右,但其薄膜的熔点肯定比着低很多;另外Ni和Si能形成合金,在富Si区,熔点低于1300摄氏度,因此估计薄膜在900摄氏度退火时发生熔化了。
大家看看这个镍膜的SEM为什么变成这个样子了...-2
Ni-Si binary phase diagram.JPG

5楼2014-01-20 11:34:42
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