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大家看看这个镍膜的SEM为什么变成这个样子了... 已有5人参与
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 上图是我用硅/二氧化硅/50nm镍膜上进行RTP快速退火后的镍膜的SEM图像，温度900度，图中亮的部分应该是镍，但是不知道为什么镍变成这个样子了，按理来说镍的熔点很高，不应该融化变成这个样子啊，不知道有人知道这是怎么回事吗？ 是在高纯氩气氛下进行的退火。 退火前的镍膜SEM图如下：  [ Last edited by dignity321 on 2014-1-19 at 15:56 ] |
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2楼2014-01-19 19:30:20