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新虫 (初入文坛)

[交流] 大家看看这个镍膜的SEM为什么变成这个样子了... 已有5人参与

上图是我用硅/二氧化硅/50nm镍膜上进行RTP快速退火后的镍膜的SEM图像，温度900度，图中亮的部分应该是镍，但是不知道为什么镍变成这个样子了，按理来说镍的熔点很高，不应该融化变成这个样子啊，不知道有人知道这是怎么回事吗？
是在高纯氩气氛下进行的退火。
退火前的镍膜SEM图如下：

[ Last edited by dignity321 on 2014-1-19 at 15:56 ]

1楼 2014-01-19 15:54:16

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木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

纳米颗粒由于表面能高，熔点比块体材料低很多。因此虽然镍的熔点为1735摄氏度左右，但其薄膜的熔点肯定比着低很多；另外Ni和Si能形成合金，在富Si区，熔点低于1300摄氏度，因此估计薄膜在900摄氏度退火时发生熔化了。

Ni-Si binary phase diagram.JPG

5楼2014-01-20 11:34:42

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