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Tavano铁杆木虫 (正式写手)
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[交流]
磁控溅射中加氢会产生H+离子还是H-离子？
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在磁控溅射制备很多薄膜时，都会加入一些氢气。氢气在辉光放电中会产生H+离子还是H-离子呢？ H的电离能为13.6eV，电子亲和能为-1.1eV，按说应该主要生成H-离子。但查了一些文献后似乎没得到什么明确的答案。有研究过这个问题的兄弟没？发表下看法吧。 [search]磁控溅射 氢[/search] |
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2楼2008-01-10 20:39:42
miloyy
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3楼2008-01-10 23:45:43
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Tavano
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磁控溅射肯定还是要用Ar做溅射气体的，加氢是为了改变薄膜的一些性能，单纯的氢并不能做溅射，因为其溅射产额很低，等离子体维持困难 下面是一篇关于ECR等离子体的文献，里面提到了negative hydrogen ions 不知道在一般的直流或中频交流溅射中加氢是否也会产生H-离子 Negative hydrogen ions and evidence for a potential dip in an electron cyclotron resonance discharge for highly charged ions Rev. Sci. Instrum Volume 69, Issue 2, pp. 1197-1199 February 1998 D. Bolshukhin, D. Meyer, U. Wolters, and K. Wiesemann Experimentalphysik insbes. Gaselektronik, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum, Germany By means of photo detachment we have detected negative hydrogen ions in an electron cyclotron resonance (ECR) discharge under conditions where highly charged ions are present in the plasma if hydrogen is absent. From the time delay between the laser pulse and the photodetachment (PD) signals we obtained the location of the negative ion clouds in the halo of the plasma. It coincides with the location found for atomic hydrogen ions in previous ion cyclotron resonance heating experiments. The confinement of the ions to these places must be due to the presence of local potential maxima. These maxima imply a potential dip in the core of the plasma. Furthermore, these H – ions indicate the presence of cold electrons even under conditions where high charge states are produced. http://scitation.aip.org/getabs/ ... =cvips&gifs=yes [ Last edited by Tavano on 2008-1-11 at 08:53 ] |
7楼2008-01-11 08:52:09
wolfliu
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8楼2008-01-11 13:03:30
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10楼2008-01-11 15:17:07