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[交流]
磁控溅射中加氢会产生H+离子还是H-离子？
在磁控溅射制备很多薄膜时，都会加入一些氢气。氢气在辉光放电中会产生H+离子还是H-离子呢？
H的电离能为13.6eV，电子亲和能为-1.1eV，按说应该主要生成H-离子。但查了一些文献后似乎没得到什么明确的答案。有研究过这个问题的兄弟没？发表下看法吧。
[search]磁控溅射 氢[/search] |
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