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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 磁控溅射中加氢会产生H+离子还是H-离子？
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射中加氢会产生H+离子还是H-离子？

在磁控溅射制备很多薄膜时，都会加入一些氢气。氢气在辉光放电中会产生H+离子还是H-离子呢？

H的电离能为13.6eV，电子亲和能为-1.1eV，按说应该主要生成H-离子。但查了一些文献后似乎没得到什么明确的答案。有研究过这个问题的兄弟没？发表下看法吧。
[search]磁控溅射 氢[/search]
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1楼 2008-01-08 10:38:49
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wesley

做磁控溅射的等离子应该也属于冷等离子体，其中主要物种是e，H＋，H自由基，H2自由基（激发态），H2＋等，H—可能会有，但非常少，而且寿命应该非常短
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6楼2008-01-11 07:50:04
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渔翁860

金虫 (正式写手)
我用的是氩气，不知道加氢是怎样。等我找到了再来
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2楼2008-01-10 20:39:42
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miloyy

木虫 (正式写手)
没想过这个问题，按理都是H+把，这个电子亲和能是什么意思，为负值？
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3楼2008-01-10 23:45:43
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anselnew

木虫 (正式写手)
我用的是氩气，不知道加氢是怎样。估计以后用H2的可能性极小
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铁电材料QQ群：16441273 欢迎做铁电材料的虫子加入
4楼2008-01-11 01:51:36
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