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Tavano铁杆木虫 (正式写手)
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[交流]
磁控溅射中加氢会产生H+离子还是H-离子？
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在磁控溅射制备很多薄膜时，都会加入一些氢气。氢气在辉光放电中会产生H+离子还是H-离子呢？ H的电离能为13.6eV，电子亲和能为-1.1eV，按说应该主要生成H-离子。但查了一些文献后似乎没得到什么明确的答案。有研究过这个问题的兄弟没？发表下看法吧。 [search]磁控溅射 氢[/search] |
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miloyy
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2664.7
- 红花: 2
- 帖子: 726
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- 虫号: 38085
- 注册: 2004-02-18
- 专业: 其他无机非金属材料
3楼2008-01-10 23:45:43
4楼2008-01-11 01:51:36
