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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 【真空系统问题】扩散泵开启真空度不下降等问题
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)

[求助] 【真空系统问题】扩散泵开启真空度不下降等问题 已有2人参与

机械泵加扩散泵的很小的真空系统。JK-100的真空机组

001.是否漏气——机械泵停止后，系统压力以1pa/3min的速度从5pa升高到10pa后稳定。（系统有部分橡胶管与玻璃，橡胶管与金属接触的地方，目前确定压升可能与这些接头出气密性或橡胶管老化有关。）  
问1：压升率是否在可以接受范围？
问2：如何分离玻璃与老化的橡胶管，橡胶管与金属密封问题？(中间有真空脂，不能全部拆下浸泡)

002.扩散泵及操作——扩散泵的储气罐压力4pa时启动扩散泵并开冷却水，同时打开高真空阀，使扩散泵与真空室相接触 ，压力始终在4pa处。
问1：如上的压升率会不会影响扩散泵抽气效率？
问2：此处应将扩散泵预热20分钟后再开高真空阀吗？
问3：如果以上操作没问题，我有理由怀疑扩散泵电炉问题吗？
问4：如果电炉没问题，我有理由怀疑扩散泵硅油老化吗？
问5：这个型号扩散泵通常需要加硅油150ml。扩散泵换油只能拆开加吗？
（一直用真空规管测量真空）
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QuincyShan
1楼 2013-12-18 12:01:43
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by gladiater at 2013-12-18 22:20:03
机械泵没问题，系统小漏很正常，你的问题就是扩散泵没预热，有不烧热，怎么可能有高真空，建立看下扩散泵工作原理。

这原理我知道啊 。我现在就是想知道扩散泵的电炉还是油的问题。上次开了一下午的扩散泵 始终是4pa。我以为漏气太快扩散泵抽不下来呢

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QuincyShan
9楼2013-12-18 23:52:52
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fuvbaby: 金币+35, ★★★★★最佳答案 2013-12-19 19:20:13
一、
（1）升压率小于5Pa/h才可以接受，楼主的漏得太厉害了；
（2）可否能用丙酮、异丙醇之类的溶剂擦拭一下？
二、
（1）肯定影响；
（2）一般扩散泵要预热45分钟后才能使用；
（3）有理；
（4）有理；
（5）看说明书。
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fuvbaby
2楼2013-12-18 12:45:27
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2013-12-18 12:45:27
一、
（1）升压率小于5Pa/h才可以接受，楼主的漏得太厉害了；
（2）可否能用丙酮、异丙醇之类的溶剂擦拭一下？
二、
（1）肯定影响；
（2）一般扩散泵要预热45分钟后才能使用；
（3）有理；
（4）有理；
（ ...

那在这个压升率下开扩散泵有可能抽到10-3pa吗。

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QuincyShan
3楼2013-12-18 19:22:08
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2013-12-18 12:45:27
一、
（1）升压率小于5Pa/h才可以接受，楼主的漏得太厉害了；
（2）可否能用丙酮、异丙醇之类的溶剂擦拭一下？
二、
（1）肯定影响；
（2）一般扩散泵要预热45分钟后才能使用；
（3）有理；
（4）有理；
（ ...

升到10pa后稳定了 第二天去不到20pa 我以为是管道放气导致的 这样的话还是单纯的漏气？

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QuincyShan
4楼2013-12-18 19:25:00
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