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【真空系统问题】扩散泵开启真空度不下降等问题 已有2人参与
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机械泵加扩散泵的很小的真空系统。JK-100的真空机组 001.是否漏气——机械泵停止后，系统压力以1pa/3min的速度从5pa升高到10pa后稳定。（系统有部分橡胶管与玻璃，橡胶管与金属接触的地方，目前确定压升可能与这些接头出气密性或橡胶管老化有关。） 问1：压升率是否在可以接受范围？ 问2：如何分离玻璃与老化的橡胶管，橡胶管与金属密封问题？(中间有真空脂，不能全部拆下浸泡) 002.扩散泵及操作——扩散泵的储气罐压力4pa时启动扩散泵并开冷却水，同时打开高真空阀，使扩散泵与真空室相接触 ，压力始终在4pa处。 问1：如上的压升率会不会影响扩散泵抽气效率？ 问2：此处应将扩散泵预热20分钟后再开高真空阀吗？ 问3：如果以上操作没问题，我有理由怀疑扩散泵电炉问题吗？ 问4：如果电炉没问题，我有理由怀疑扩散泵硅油老化吗？ 问5：这个型号扩散泵通常需要加硅油150ml。扩散泵换油只能拆开加吗？ （一直用真空规管测量真空） |
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4楼2013-12-18 19:25:00
peterflyer 
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5楼2013-12-18 21:45:49
