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fuvbaby

铁虫 (小有名气)

[求助] 【真空系统问题】扩散泵开启真空度不下降等问题 已有2人参与

机械泵加扩散泵的很小的真空系统。JK-100的真空机组

001.是否漏气——机械泵停止后,系统压力以1pa/3min的速度从5pa升高到10pa后稳定。(系统有部分橡胶管与玻璃,橡胶管与金属接触的地方,目前确定压升可能与这些接头出气密性或橡胶管老化有关。)  
问1:压升率是否在可以接受范围?
问2:如何分离玻璃与老化的橡胶管,橡胶管与金属密封问题?(中间有真空脂,不能全部拆下浸泡)

002.扩散泵及操作——扩散泵的储气罐压力4pa时启动扩散泵并开冷却水,同时打开高真空阀,使扩散泵与真空室相接触 ,压力始终在4pa处。
问1:如上的压升率会不会影响扩散泵抽气效率?
问2:此处应将扩散泵预热20分钟后再开高真空阀吗?
问3:如果以上操作没问题,我有理由怀疑扩散泵电炉问题吗?
问4:如果电炉没问题,我有理由怀疑扩散泵硅油老化吗?
问5:这个型号扩散泵通常需要加硅油150ml。扩散泵换油只能拆开加吗?
(一直用真空规管测量真空)
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QuincyShan
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2013-12-18 12:45:27
一、
(1)升压率小于5Pa/h才可以接受,楼主的漏得太厉害了;
(2)可否能用丙酮、异丙醇之类的溶剂擦拭一下?
二、
(1)肯定影响;
(2)一般扩散泵要预热45分钟后才能使用;
(3)有理;
(4)有理;
( ...

那在这个压升率下开扩散泵有可能抽到10-3pa吗。

[ 发自小木虫客户端 ]
QuincyShan
3楼2013-12-18 19:22:08
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fuvbaby: 金币+35, ★★★★★最佳答案 2013-12-19 19:20:13
一、
(1)升压率小于5Pa/h才可以接受,楼主的漏得太厉害了;
(2)可否能用丙酮、异丙醇之类的溶剂擦拭一下?
二、
(1)肯定影响;
(2)一般扩散泵要预热45分钟后才能使用;
(3)有理;
(4)有理;
(5)看说明书。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2013-12-18 12:45:27
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fuvbaby

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2013-12-18 12:45:27
一、
(1)升压率小于5Pa/h才可以接受,楼主的漏得太厉害了;
(2)可否能用丙酮、异丙醇之类的溶剂擦拭一下?
二、
(1)肯定影响;
(2)一般扩散泵要预热45分钟后才能使用;
(3)有理;
(4)有理;
( ...

升到10pa后稳定了 第二天去不到20pa 我以为是管道放气导致的 这样的话还是单纯的漏气?

[ 发自小木虫客户端 ]
QuincyShan
4楼2013-12-18 19:25:00
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by fuvbaby at 2013-12-18 19:22:08
那在这个压升率下开扩散泵有可能抽到10-3pa吗。
...

我以前从没在这种情况下使用过扩散泵,不得而知。最好严格遵照使用说明书操作炉子。另外还要请楼主注意,扩散蹦必须加热有45分钟后再使用,看你的文字表述中好像没怎么加热就开始使用了。另外检查炉中有无因吸潮或什么原因造成的持续放气的问题(如隔热用毛毡)。本人以前就曾遇到过此类问题,故提请楼主注意。
5楼2013-12-18 21:45:49
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