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【真空系统问题】扩散泵开启真空度不下降等问题 已有2人参与
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机械泵加扩散泵的很小的真空系统。JK-100的真空机组 001.是否漏气——机械泵停止后,系统压力以1pa/3min的速度从5pa升高到10pa后稳定。(系统有部分橡胶管与玻璃,橡胶管与金属接触的地方,目前确定压升可能与这些接头出气密性或橡胶管老化有关。) 问1:压升率是否在可以接受范围? 问2:如何分离玻璃与老化的橡胶管,橡胶管与金属密封问题?(中间有真空脂,不能全部拆下浸泡) 002.扩散泵及操作——扩散泵的储气罐压力4pa时启动扩散泵并开冷却水,同时打开高真空阀,使扩散泵与真空室相接触 ,压力始终在4pa处。 问1:如上的压升率会不会影响扩散泵抽气效率? 问2:此处应将扩散泵预热20分钟后再开高真空阀吗? 问3:如果以上操作没问题,我有理由怀疑扩散泵电炉问题吗? 问4:如果电炉没问题,我有理由怀疑扩散泵硅油老化吗? 问5:这个型号扩散泵通常需要加硅油150ml。扩散泵换油只能拆开加吗? (一直用真空规管测量真空) |
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8楼2013-12-18 23:49:25
peterflyer
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
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2楼2013-12-18 12:45:27

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