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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助SU-8为什么大面积脱落
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助SU-8为什么大面积脱落 已有6人参与

最近做SU-8发生大面积脱落显现。以前是在硅基板上做一些小结构，SU-8 曝光显影后基板呈现的是小结构。但是最近在硅基板上做的是大面积结构，显影后微小结构去除。但是当曝光后的su-8 基板放入显影液中，SU-8 就开始大面积脱落。希望各位大侠帮我解决一下。非常感谢！
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1楼 2013-12-10 14:45:00
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by babyoflion at 2013-12-11 13:45:36
大面积脱落的问题主要有一下几点，希望对你有帮助：第一、基底不干净或者空气湿度大 第二，显影方式不对 第三 显影液不合适！ 你这说的连工艺参数和流程都没说，别人怎么给你分析呢？ 工艺参数至少要给，而且显影液 ...

空气湿度肯定不大。我已经用了紫外臭氧了。显影液是MICRO-CHEM原厂的显影液。我不知道您说的显影方式指的什么？至于工艺参数，我用的就是micro chem data sheet里的工艺参数。
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8楼2013-12-11 19:50:05
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用一下HDMS试一下。大面积SU8脱落，比较大的可能性是SU8曝光交联时产生了大量的应力，应力超过了表面粘附力就脱落了。小面积时应力不显著而已。
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2楼2013-12-10 15:45:24
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zhaoyuan0426

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
胶与基地粘附性不好，基片处理了吗？或者可以考虑使用增附剂，增加粘附性，用来抵抗应力
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3楼2013-12-10 20:36:35
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-10 20:36:35
胶与基地粘附性不好，基片处理了吗？或者可以考虑使用增附剂，增加粘附性，用来抵抗应力

麻烦问一下，什么样的增附剂呢？我用丙酮、甲醇分别超声了20分钟，然后用超纯水清洗。最后用紫外臭氧，还是哗啦哗啦掉没了。
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4楼2013-12-11 08:20:36
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