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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)

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[求助] 求助SU-8为什么大面积脱落已有6人参与

最近做SU-8发生大面积脱落显现。以前是在硅基板上做一些小结构，SU-8 曝光显影后基板呈现的是小结构。但是最近在硅基板上做的是大面积结构，显影后微小结构去除。但是当曝光后的su-8 基板放入显影液中，SU-8 就开始大面积脱落。希望各位大侠帮我解决一下。非常感谢！

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1楼 2013-12-10 14:45:00

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引用回帖:

6楼: Originally posted by babyoflion at 2013-12-11 13:45:36
大面积脱落的问题主要有一下几点，希望对你有帮助：第一、基底不干净或者空气湿度大第二，显影方式不对第三显影液不合适！你这说的连工艺参数和流程都没说，别人怎么给你分析呢？工艺参数至少要给，而且显影液 ...

空气湿度肯定不大。我已经用了紫外臭氧了。显影液是MICRO-CHEM原厂的显影液。我不知道您说的显影方式指的什么？至于工艺参数，我用的就是micro chem data sheet里的工艺参数。