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求助SU-8为什么大面积脱落 已有6人参与
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| 最近做SU-8发生大面积脱落显现。以前是在硅基板上做一些小结构，SU-8 曝光显影后基板呈现的是小结构。但是最近在硅基板上做的是大面积结构，显影后微小结构去除。但是当曝光后的su-8 基板放入显影液中，SU-8 就开始大面积脱落。希望各位大侠帮我解决一下。非常感谢！ |
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 实验小细节 |
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zhaoyuan0426
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3楼2013-12-10 20:36:35
reninhat
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2楼2013-12-10 15:45:24
4楼2013-12-11 08:20:36
zhaoyuan0426
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我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下，因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃，我用超声洗，做完结构显影都没有了，后来用浓硫酸+双氧水煮过的，效果就好一点。增附剂我觉得效果最好，我们实验室用的是老板从日本带回来的，KH570，不知道国内有没有卖的 http://baike.baidu.com/link?url= ... DFAb1XkVj2Si2lJLvL_ |
5楼2013-12-11 09:53:48
