| 查看: 2862 | 回复: 27 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
求助SU-8为什么大面积脱落 已有6人参与
|
|||
| 最近做SU-8发生大面积脱落显现。以前是在硅基板上做一些小结构，SU-8 曝光显影后基板呈现的是小结构。但是最近在硅基板上做的是大面积结构，显影后微小结构去除。但是当曝光后的su-8 基板放入显影液中，SU-8 就开始大面积脱落。希望各位大侠帮我解决一下。非常感谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 实验小细节 |
» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有96人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助SU-8光刻胶网购地址、电话
已经有6人回复
- 关于光刻剥离的难题
已经有7人回复
- 求助：超级电容器电极材料脱落问题
已经有23人回复
- 【求助/交流】赤霉素、吲哚乙酸、脱落酸的液相标准品在哪公司买？
已经有4人回复
4楼2013-12-11 08:20:36
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2013-12-10 15:45:24
zhaoyuan0426
至尊木虫 (著名写手)
- MN-EPI: 1
- 应助: 60 (初中生)
- 贵宾: 2.663
- 金币: 32841.8
- 散金: 845
- 红花: 208
- 沙发: 1
- 帖子: 1642
- 在线: 512.9小时
- 虫号: 1252344
- 注册: 2011-04-01
- 专业: 光学和光电子材料
3楼2013-12-10 20:36:35
zhaoyuan0426
至尊木虫 (著名写手)
- MN-EPI: 1
- 应助: 60 (初中生)
- 贵宾: 2.663
- 金币: 32841.8
- 散金: 845
- 红花: 208
- 沙发: 1
- 帖子: 1642
- 在线: 512.9小时
- 虫号: 1252344
- 注册: 2011-04-01
- 专业: 光学和光电子材料
|
我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下，因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃，我用超声洗，做完结构显影都没有了，后来用浓硫酸+双氧水煮过的，效果就好一点。增附剂我觉得效果最好，我们实验室用的是老板从日本带回来的，KH570，不知道国内有没有卖的 http://baike.baidu.com/link?url= ... DFAb1XkVj2Si2lJLvL_ |
5楼2013-12-11 09:53:48