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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助SU-8为什么大面积脱落 已有6人参与

最近做SU-8发生大面积脱落显现。以前是在硅基板上做一些小结构,SU-8 曝光显影后基板呈现的是小结构。但是最近在硅基板上做的是大面积结构,显影后微小结构去除。但是当曝光后的su-8 基板放入显影液中,SU-8 就开始大面积脱落。希望各位大侠帮我解决一下。非常感谢!
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-11 09:53:48
我建议先用浓硫酸+双氧水煮一下,因为我曾经用过SU-8不过我的基片是玻璃,我用超声洗,做完结构显影都没有了,后来用浓硫酸+双氧水煮过的,效果就好一点。增附剂我觉得效果最好,我们实验室用的是老板从日本带回来 ...

恩恩,谢谢。我会试一下。你做的也是那种暴完光大面积的SU-8都在基板上的那种么?我的mask上,只有几条线是Cr。
7楼2013-12-11 19:46:13
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用一下HDMS试一下。大面积SU8脱落,比较大的可能性是SU8曝光交联时产生了大量的应力,应力超过了表面粘附力就脱落了。小面积时应力不显著而已。
2楼2013-12-10 15:45:24
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zhaoyuan0426

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
胶与基地粘附性不好,基片处理了吗?或者可以考虑使用增附剂,增加粘附性,用来抵抗应力
3楼2013-12-10 20:36:35
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笨圈圈77

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhaoyuan0426 at 2013-12-10 20:36:35
胶与基地粘附性不好,基片处理了吗?或者可以考虑使用增附剂,增加粘附性,用来抵抗应力

麻烦问一下,什么样的增附剂呢?我用丙酮、甲醇分别超声了20分钟,然后用超纯水清洗。最后用紫外臭氧,还是哗啦哗啦掉没了。
4楼2013-12-11 08:20:36
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