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xmcmx

新虫 (小有名气)

[求助] 膜基结合力对薄膜应力状态的影响

谁可以帮忙解释一下膜基结合力对薄膜应力状态会有何种影响
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tongjicmw

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
xmcmx: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-12-01 14:57:18
薄膜应力状态主要由膜基之间的热膨胀系数差,还有膜厚决定的……膜基结合力主要是由膜基元素之间的亲和力决定的,即它们之间成什么样的键,当然它还受偏压等一些外因的影响……如果真要问膜基结合力对薄膜应力状态的影响的话   我认为应力状态不外乎它的方向和大小,膜基结合力越大,当然应力当然越大,方向由它们之间的热膨胀系数差决定的 …………这里所说应力只是热应力,没有包括涂层的固有应力。  说的有点乱,有的是个人理解,希望对你有用
2楼2013-11-30 22:06:32
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