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xmcmx

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[求助] 膜基结合力对薄膜应力状态的影响

谁可以帮忙解释一下膜基结合力对薄膜应力状态会有何种影响

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1楼 2013-11-26 19:33:59

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tongjicmw

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
xmcmx: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-12-01 14:57:18

薄膜应力状态主要由膜基之间的热膨胀系数差，还有膜厚决定的……膜基结合力主要是由膜基元素之间的亲和力决定的，即它们之间成什么样的键，当然它还受偏压等一些外因的影响……如果真要问膜基结合力对薄膜应力状态的影响的话我认为应力状态不外乎它的方向和大小，膜基结合力越大，当然应力当然越大，方向由它们之间的热膨胀系数差决定的 …………这里所说应力只是热应力，没有包括涂层的固有应力。说的有点乱，有的是个人理解，希望对你有用

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2楼2013-11-30 22:06:32

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