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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » XPS检测深度是多少？
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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] XPS检测深度是多少？

检测元素成份时多深？感觉X射线应该打的很深，但有一篇文献上检测的却很浅。有谁知道吗？谢谢。
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为科研奋斗终生
1楼 2013-11-25 10:25:37
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★ ★ ★ ★ ★
Angusskanal(congqin312代发): 金币+5, 多谢指导~~ 2013-11-25 16:26:55
引用回帖:
5楼: Originally posted by Angusskanal at 2013-11-25 11:58:39
请问EDX有多深？...

很浅的，几个nm，很深的用x射线的是XRD，XPS很浅是因为检测的是光电子，能量很低的，虽然x射线能打进去很深但是能出来的光电子只是表面的。EDX很深很深，几个微米级别的，譬如你沾了一层导电胶，很有可能导电胶背面的铝台基底都有很强信号的
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6楼2013-11-25 12:05:52
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罗塔尔

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Angusskanal: 金币+5, ★有帮助 2013-11-25 14:22:11
很浅  好像只有十几纳米  我们组里的 thermofisher的
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2楼2013-11-25 10:45:13
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8dianbao

铁杆木虫 (著名写手)

科研民工

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Angusskanal: 金币+5, ★有帮助 2013-11-25 14:23:45
半导体可能有十几个纳米，貌似金属只有几个纳米
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不积跬步，无以至千里；不积小流，无以成江海。骐骥一跃，不能十步；驽马十驾，功在不舍。锲而舍之，朽木不折；锲而不舍，金石可镂。
3楼2013-11-25 11:06:05
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kunpeng1782

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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Angusskanal: 金币+5, ★有帮助 2013-11-25 14:24:04
很浅，确实只有几个十几个纳米。至于说很深的 可能是你用了离子溅射 那样会深些
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Eternallove
4楼2013-11-25 11:19:37
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