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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] XPS检测深度是多少?

检测元素成份时多深?感觉X射线应该打的很深,但有一篇文献上检测的却很浅。有谁知道吗?谢谢。
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

★ ★ ★ ★ ★
Angusskanal(congqin312代发): 金币+5, 多谢指导~~ 2013-11-25 16:26:55
引用回帖:
5楼: Originally posted by Angusskanal at 2013-11-25 11:58:39
请问EDX有多深?...

很浅的,几个nm,很深的用x射线的是XRD,XPS很浅是因为检测的是光电子,能量很低的,虽然x射线能打进去很深但是能出来的光电子只是表面的。EDX很深很深,几个微米级别的,譬如你沾了一层导电胶,很有可能导电胶背面的铝台基底都有很强信号的
6楼2013-11-25 12:05:52
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罗塔尔

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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Angusskanal: 金币+5, 有帮助 2013-11-25 14:22:11
很浅  好像只有十几纳米  我们组里的 thermofisher的
2楼2013-11-25 10:45:13
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8dianbao

铁杆木虫 (著名写手)

科研民工

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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Angusskanal: 金币+5, 有帮助 2013-11-25 14:23:45
半导体可能有十几个纳米,貌似金属只有几个纳米
不积跬步,无以至千里;不积小流,无以成江海。骐骥一跃,不能十步;驽马十驾,功在不舍。锲而舍之,朽木不折;锲而不舍,金石可镂。
3楼2013-11-25 11:06:05
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kunpeng1782

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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Angusskanal: 金币+5, 有帮助 2013-11-25 14:24:04
很浅,确实只有几个十几个纳米。至于说很深的 可能是你用了离子溅射 那样会深些
Eternallove
4楼2013-11-25 11:19:37
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