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夏至121铁虫 (初入文坛)
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光刻胶都能做什么材料的掩膜 已有2人参与
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| 我看有些论文，有的用光刻胶做硅材料的掩膜，有的用来做氧化硅的掩膜，但也有的材料上刻蚀硅或氧化硅的时候，不用光刻胶做掩膜而用氮化硅，到底光刻胶能用来做谁的掩膜，为什么有时候不用呢，（前期工艺，没有其他材料的影响） |
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yswyx 
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reninhat
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