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Magina_L

新虫 (初入文坛)

[求助] 台阶仪测试问题,急急急。 已有3人参与

小弟台阶仪测量膜厚过程中,发现前面一小段距离是平整的,后面测量直线开始倾斜。如图所示。本人一开始是怀疑基底本上不平的原因,但是将样品调转方向还是一样的结果。
台阶仪测试问题,急急急。
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台阶仪测试问题,急急急。-1
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Magina_L

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by xiaotaoren at 2013-11-20 10:30:56
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。

我考虑过你的想法,我确实拿未溅射薄膜的基底试过,也是扫过1000um之后曲线开始上扬。但是我试过很多位置,包括反向的,都是曲线上扬,所以我怀疑是否是台阶仪本身的问题,就是当扫的长度较长时就会出现这种情况。另外关于你说的薄膜不均匀的问题,但是这个毕竟是磁控溅射做的,不均匀也不会差距达到几百纳米的数量级啊。
7楼2013-11-20 13:59:19
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nanoptic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这说明台阶做得不好
solar cells, nanophotonics, thin films, ellipsometry
2楼2013-11-20 05:34:28
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raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
横轴单位是什么?扫的范围太大?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-11-20 07:17:32
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xiaotaoren

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。
4楼2013-11-20 10:30:56
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