24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 3773  |  回复: 19
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

Magina_L

新虫 (初入文坛)

[求助] 台阶仪测试问题,急急急。 已有3人参与

小弟台阶仪测量膜厚过程中,发现前面一小段距离是平整的,后面测量直线开始倾斜。如图所示。本人一开始是怀疑基底本上不平的原因,但是将样品调转方向还是一样的结果。
台阶仪测试问题,急急急。
400tuihuohou.JPG


台阶仪测试问题,急急急。-1
Ptbiaomian.JPG
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Magina_L

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by xiaotaoren at 2013-11-20 10:30:56
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。

我考虑过你的想法,我确实拿未溅射薄膜的基底试过,也是扫过1000um之后曲线开始上扬。但是我试过很多位置,包括反向的,都是曲线上扬,所以我怀疑是否是台阶仪本身的问题,就是当扫的长度较长时就会出现这种情况。另外关于你说的薄膜不均匀的问题,但是这个毕竟是磁控溅射做的,不均匀也不会差距达到几百纳米的数量级啊。
7楼2013-11-20 13:59:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

nanoptic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这说明台阶做得不好
solar cells, nanophotonics, thin films, ellipsometry
2楼2013-11-20 05:34:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
横轴单位是什么?扫的范围太大?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2013-11-20 07:17:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaotaoren

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。
4楼2013-11-20 10:30:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0702物理学学硕299求调剂 +6 祁柒连 2026-04-06 6/300 2026-04-10 11:10 by Roomoo
[考研] 一志愿西北工业大学289 085602 +24 yang婷 2026-04-10 24/1200 2026-04-10 10:25 by jiajinhpu
[考研] 301求调剂 +4 XYPLR 2026-04-05 6/300 2026-04-10 09:17 by Delta2012
[考研] 生物与医药273求调剂 +18 荔题南墙 2026-04-05 19/950 2026-04-10 08:14 by kangsm
[考研] 085404,285分求调剂 +12 薇薇考研 2026-04-07 14/700 2026-04-09 23:10 by parmtree
[考研] 一志愿华工085600 331分 +6 天下ww 2026-04-09 6/300 2026-04-09 18:59 by l_paradox
[考研] 284求调剂 +7 让我上岸吧阿西 2026-04-09 7/350 2026-04-09 18:59 by haironglove
[考研] 22408 270分 +9 sanjin020722 2026-04-08 10/500 2026-04-09 14:11 by 诗与自由
[考研] 一志愿北京2,材料与化工308求调剂 +17 熊二想上岸 2026-04-04 18/900 2026-04-09 09:13 by leyan1127
[考研] 318求调剂 +13 ykyhsa 2026-04-05 15/750 2026-04-08 21:37 by wj165256
[考研] 293分求调剂,外语为俄语 +7 加一一九 2026-04-07 10/500 2026-04-08 20:14 by yutian743
[考研] 一志愿华东理工085601材料工程303分求调剂 +15 a1708 2026-04-06 15/750 2026-04-08 16:23 by luoyongfeng
[考研] 11408 325分 +3 jgtxuxgkx 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:10 by lbsjt
[考研] 085404 293求调剂 +8 勇远库爱314 2026-04-06 9/450 2026-04-07 13:05 by flydream1314
[考研] 080500求调剂 +12 黄宇博 2026-04-06 12/600 2026-04-07 12:41 by upczlm1989
[考研] 复试调剂 +5 asdasdassda 2026-04-05 5/250 2026-04-06 09:32 by dongzh2009
[考研] 材料专硕322分 +10 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-04 10/500 2026-04-05 21:22 by 学员8dgXkO
[考研] 353求调剂 +10 MayUxw1 2026-04-03 10/500 2026-04-05 09:23 by 无际的草原
[考研] 290求调剂 +7 luoziheng 2026-04-04 7/350 2026-04-04 23:17 by lqwchd
[考研] 325求调剂 +4 春风不借意 2026-04-04 4/200 2026-04-04 22:08 by 啵啵啵0119
信息提示
请填处理意见