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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 台阶仪测试问题，急急急。
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Magina_L

新虫 (初入文坛)

[求助] 台阶仪测试问题，急急急。 已有3人参与

小弟台阶仪测量膜厚过程中，发现前面一小段距离是平整的，后面测量直线开始倾斜。如图所示。本人一开始是怀疑基底本上不平的原因，但是将样品调转方向还是一样的结果。
台阶仪测试问题，急急急。
400tuihuohou.JPG


台阶仪测试问题，急急急。-1
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1楼 2013-11-19 10:49:17
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Magina_L

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xiaotaoren at 2013-11-20 10:30:56
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。

我考虑过你的想法，我确实拿未溅射薄膜的基底试过，也是扫过1000um之后曲线开始上扬。但是我试过很多位置，包括反向的，都是曲线上扬，所以我怀疑是否是台阶仪本身的问题，就是当扫的长度较长时就会出现这种情况。另外关于你说的薄膜不均匀的问题，但是这个毕竟是磁控溅射做的，不均匀也不会差距达到几百纳米的数量级啊。
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7楼2013-11-20 13:59:19
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普通回帖

nanoptic

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这说明台阶做得不好
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solar cells, nanophotonics, thin films, ellipsometry
2楼2013-11-20 05:34:28
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raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
横轴单位是什么？扫的范围太大？

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2013-11-20 07:17:32
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xiaotaoren

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会不会是长膜的衬底本身不平整或者膜长的不均匀。长膜之前先测一下台阶厚度做个对比试试。
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4楼2013-11-20 10:30:56
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另一种存在

铜虫 (初入文坛)
你的膜大概厚多？太薄测不好
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5楼2013-11-20 13:24:25
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Magina_L

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by raymondzsu at 2013-11-20 07:17:32
横轴单位是什么？扫的范围太大？

扫的范围确实有点大，四毫米，但是我想看下整体均匀性。
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6楼2013-11-20 13:54:28
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Magina_L

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 另一种存在 at 2013-11-20 13:24:25
你的膜大概厚多？太薄测不好

应该是100-150nm的样子
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8楼2013-11-20 13:59:35
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另一种存在

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Magina_L at 2013-11-20 13:59:35
应该是100-150nm的样子...

这么薄你拿台阶肯定测不准啊，还是去照SEM吧
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9楼2013-11-21 11:52:49
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无敌麦蒂1

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Magina_L at 2013-11-20 13:59:35
应该是100-150nm的样子...

这么薄，可以考虑椭偏仪测量啊
椭偏仪可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质…
最小可以测到1nm的薄膜，可以考虑一下这个设备嘛
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天道酬勤
10楼2013-12-04 15:44:44
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