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wolfrine

木虫 (正式写手)

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[求助] 薄膜MEMS性能表征

文章大修，有一条是让我提供薄膜的MEMS方面的性能，如“deposition conformality, uniformity”等，请教
1. deposition conformality指的是什么，如何表征；
2. 我查找文献有用“one sigma uniformity”表征uniformity的，请问如何计算one sigma，与6 sigma有何区别？

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justdoit

1楼 2013-10-31 11:43:18

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wolfrine

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引用回帖:

2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-10-31 15:11:51
先说说你是什么薄膜？表征MEMS性能的deposition conformality一般是指deposition过程中对表面和侧壁覆盖的一致性，uniformity则一般是指片子整个区域一致性。这里考察的性能可以是厚度也可以是其它MEMS性能如内应力 ...

非晶硅薄膜；“uniformity则一般是指片子整个区域一致性”，如果我要表征的是厚度，如何计算，用one sigma uniformity如何表征？