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wolfrine

木虫 (正式写手)

[求助] 薄膜MEMS性能表征

文章大修，有一条是让我提供薄膜的MEMS方面的性能，如“deposition conformality, uniformity”等，请教
1. deposition conformality指的是什么，如何表征；
2. 我查找文献有用“one sigma uniformity”表征uniformity的，请问如何计算one sigma，与6 sigma有何区别？
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justdoit
1楼 2013-10-31 11:43:18
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wolfrine

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-10-31 15:11:51
先说说你是什么薄膜？表征MEMS性能的deposition conformality一般是指deposition过程中对表面和侧壁覆盖的一致性，uniformity则一般是指片子整个区域一致性。这里考察的性能可以是厚度也可以是其它MEMS性能如内应力 ...

非晶硅薄膜；“uniformity则一般是指片子整个区域一致性”，如果我要表征的是厚度，如何计算，用one sigma uniformity如何表征？
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justdoit
3楼2013-10-31 18:11:09
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qingpingzi

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wolfrine: 金币+20, ★★★很有帮助, 部分未回答 2013-11-02 09:16:56
先说说你是什么薄膜？表征MEMS性能的deposition conformality一般是指deposition过程中对表面和侧壁覆盖的一致性，uniformity则一般是指片子整个区域一致性。这里考察的性能可以是厚度也可以是其它MEMS性能如内应力及材料特性等。
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2楼2013-10-31 15:11:51
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qingpingzi

新虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wolfrine at 2013-10-31 18:11:09
非晶硅薄膜；“uniformity则一般是指片子整个区域一致性”，如果我要表征的是厚度，如何计算，用one sigma uniformity如何表征？...

测量多点厚度呗。常见的有测5点，9点，13点的。你也可以多测量一些，然后看看厚度分布及方差等
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4楼2013-11-08 11:29:48
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