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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wolfrine

超级版主

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[求助] 薄膜MEMS性能表征

文章大修,有一条是让我提供薄膜的MEMS方面的性能,如“deposition conformality, uniformity”等,请教
1. deposition conformality指的是什么,如何表征;
2. 我查找文献有用“one sigma uniformity”表征uniformity的,请问如何计算one sigma,与6 sigma有何区别?
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justdoit
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wolfrine

版主

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引用回帖:
2楼: Originally posted by qingpingzi at 2013-10-31 15:11:51
先说说你是什么薄膜?表征MEMS性能的deposition conformality一般是指deposition过程中对表面和侧壁覆盖的一致性,uniformity则一般是指片子整个区域一致性。这里考察的性能可以是厚度也可以是其它MEMS性能如内应力 ...

非晶硅薄膜;“uniformity则一般是指片子整个区域一致性”,如果我要表征的是厚度,如何计算,用one sigma uniformity如何表征?
justdoit
3楼2013-10-31 18:11:09
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qingpingzi

主管区长

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wolfrine: 金币+20, ★★★很有帮助, 部分未回答 2013-11-02 09:16:56
先说说你是什么薄膜?表征MEMS性能的deposition conformality一般是指deposition过程中对表面和侧壁覆盖的一致性,uniformity则一般是指片子整个区域一致性。这里考察的性能可以是厚度也可以是其它MEMS性能如内应力及材料特性等。
2楼2013-10-31 15:11:51
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qingpingzi

专家顾问

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引用回帖:
3楼: Originally posted by wolfrine at 2013-10-31 18:11:09
非晶硅薄膜;“uniformity则一般是指片子整个区域一致性”,如果我要表征的是厚度,如何计算,用one sigma uniformity如何表征?...

测量多点厚度呗。常见的有测5点,9点,13点的。你也可以多测量一些,然后看看厚度分布及方差等
4楼2013-11-08 11:29:48
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