| 查看: 1058 | 回复: 3 | ||
[求助]
薄膜MEMS性能表征
|
|
文章大修，有一条是让我提供薄膜的MEMS方面的性能，如“deposition conformality, uniformity”等，请教 1. deposition conformality指的是什么，如何表征； 2. 我查找文献有用“one sigma uniformity”表征uniformity的，请问如何计算one sigma，与6 sigma有何区别？ |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有191人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 分享——聚合物薄膜（英文版）
已经有308人回复
- 薄膜（AZO/ITO/TCO/ZnO等）资料大集合大分享
已经有182人回复
- 请问塑性硬度和韧性之间是什么关系？硬质薄膜的韧性有没有定量的方法来表征？
已经有6人回复
- AFM表征薄膜表面形貌
已经有6人回复
- 关于ZnO基稀磁性半导体薄膜的制备方法通常都有什么?都需要用到哪些表征的仪器呢?
已经有8人回复
- 薄膜材料基材的选择主要遵循什么原则？
已经有5人回复
- 薄膜材料的（厚度，成分，结构）表征方法
已经有1222人回复
- 薄膜表面涂层抗划伤性能的表征
已经有8人回复
- 介孔薄膜材料的XRD表征
已经有12人回复
- 【求助】纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备
已经有14人回复
- 【求助】如何对100um*100um面积范围薄膜材料的质量进行表征
已经有11人回复
qingpingzi
新虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 1539.8
- 散金: 2961
- 红花: 6
- 帖子: 899
- 在线: 411.7小时
- 虫号: 819799
- 注册: 2009-08-01
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2013-10-31 15:11:51
3楼2013-10-31 18:11:09
qingpingzi
新虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 1539.8
- 散金: 2961
- 红花: 6
- 帖子: 899
- 在线: 411.7小时
- 虫号: 819799
- 注册: 2009-08-01
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2013-11-08 11:29:48
