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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜材料基材的选择主要遵循什么原则? 已有4人参与

薄膜的膜材质是已经定了的,而在选择基体材质时,主要遵循什么原则?(膜基均为金属)
为了结合更好,是不是应该选择能发生化学反应的?
在晶格参数上是否匹配的更好(请对匹配定义——什么范围叫匹配?)
对镀膜中及镀膜后的热处理,温度分别怎么选择?
对基体应该进行怎么样的前处理(打磨?清洗?)
大牛们,请解答!
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blackstar117

金虫 (小有名气)

我觉得基底材料的选择应该与你的应用密切相关。
比如说我是做电化学的,自然希望基底的导电性和电化学性质要好。
2楼2012-08-28 07:58:49
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xiaopanky

金虫 (小有名气)

★ ★
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-29 07:52:47
对于金属,1,要考虑二者的热膨胀系数要相近,这是考虑膜的完整性
           2,二者的粘附特性,有时候需要借助其他金属作为过度层
            3,相互催化老化特性,化学反应侵蚀
             4,考虑电化学特性,不要形成原电池
              5,晶体结构
模拟电路设计
3楼2012-08-28 12:47:11
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jinydz

银虫 (初入文坛)


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
晶体结构,一般选择相近或相同晶格参数的;生长温度,衬底要耐得住薄膜生长的温度;如果要考虑电学性能,还要考虑导电型,如果要考虑光学的性能,一般要用透明衬底
4楼2012-08-28 16:50:29
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macaibin

禁虫 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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5楼2012-08-28 17:28:38
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gladiater

木虫 (正式写手)

对基体的要求,就是要结合力强,别的没什么要求。但薄膜材料氧化性特别强,非常容易氧化,所以薄膜本身的致密度应该也很关键。镀膜方式是真空蒸镀。
6楼2012-08-28 21:36:54
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