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薄膜MEMS性能表征
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文章大修，有一条是让我提供薄膜的MEMS方面的性能，如“deposition conformality, uniformity”等，请教 1. deposition conformality指的是什么，如何表征； 2. 我查找文献有用“one sigma uniformity”表征uniformity的，请问如何计算one sigma，与6 sigma有何区别？ |
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