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buffer3568新虫 (小有名气)
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[求助]
湿刻玻璃怎么这么难。。。
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想在玻璃上做一些波导图样，本来觉得用HF刻蚀应该挺简单的，但是实际操作中发现现象很奇怪，有的时候刻蚀出来就是光亮的，但是有的时候刻蚀出来就是乌突突的，在显微镜下看表面不光滑，有很多小突起。最奇怪的是有的时候刻蚀出来是一半光亮的，一半乌突突的！就像附件图。下面是刻蚀前的样子，用金作的掩膜版图形，而上面的那块是刻蚀完的，再除掉金的玻璃。右边的部分是光亮的，左边的部分就是毛糙的。而这个跟我的放入HF的方式又不对应，我是夹住片子中间的部分放入的，而不是夹在片子的一头。为什么会出现这样不均匀的现象呢？想不通啊！怎么控制让它刻蚀出来一直都是光亮的呢？ 我用的HF用过10%的HF水溶液。昨天是根据文献用的HF+HNO3+NH4F的水溶液，其中HF占10%但是现象都是这样子的。有人对湿刻比较熟悉吗？求助啊！  玻璃湿刻.jpg |
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reninhat
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2楼2013-10-26 09:10:19
buffer3568
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3楼2013-10-26 14:16:45
yswyx 
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