| 查看: 1304 | 回复: 6 | |||
buffer3568新虫 (小有名气)
|
[求助]
湿刻玻璃怎么这么难。。。
|
|
想在玻璃上做一些波导图样，本来觉得用HF刻蚀应该挺简单的，但是实际操作中发现现象很奇怪，有的时候刻蚀出来就是光亮的，但是有的时候刻蚀出来就是乌突突的，在显微镜下看表面不光滑，有很多小突起。最奇怪的是有的时候刻蚀出来是一半光亮的，一半乌突突的！就像附件图。下面是刻蚀前的样子，用金作的掩膜版图形，而上面的那块是刻蚀完的，再除掉金的玻璃。右边的部分是光亮的，左边的部分就是毛糙的。而这个跟我的放入HF的方式又不对应，我是夹住片子中间的部分放入的，而不是夹在片子的一头。为什么会出现这样不均匀的现象呢？想不通啊！怎么控制让它刻蚀出来一直都是光亮的呢？ 我用的HF用过10%的HF水溶液。昨天是根据文献用的HF+HNO3+NH4F的水溶液，其中HF占10%但是现象都是这样子的。有人对湿刻比较熟悉吗？求助啊！  玻璃湿刻.jpg |
回复此楼
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2013-10-26 09:10:19
buffer3568
新虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 488.2
- 红花: 1
- 帖子: 69
- 在线: 17.4小时
- 虫号: 278194
- 注册: 2006-09-09
- 专业: 应用高分子化学与物理
3楼2013-10-26 14:16:45
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2013-10-26 15:45:40
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
5楼2013-10-27 16:22:18
6楼2013-11-04 18:09:03
7楼2014-02-27 17:23:10
28