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buffer3568

新虫 (小有名气)

[求助] 湿刻玻璃怎么这么难。。。

想在玻璃上做一些波导图样,本来觉得用HF刻蚀应该挺简单的,但是实际操作中发现现象很奇怪,有的时候刻蚀出来就是光亮的,但是有的时候刻蚀出来就是乌突突的,在显微镜下看表面不光滑,有很多小突起。最奇怪的是有的时候刻蚀出来是一半光亮的,一半乌突突的!就像附件图。下面是刻蚀前的样子,用金作的掩膜版图形,而上面的那块是刻蚀完的,再除掉金的玻璃。右边的部分是光亮的,左边的部分就是毛糙的。而这个跟我的放入HF的方式又不对应,我是夹住片子中间的部分放入的,而不是夹在片子的一头。为什么会出现这样不均匀的现象呢?想不通啊!怎么控制让它刻蚀出来一直都是光亮的呢?

我用的HF用过10%的HF水溶液。昨天是根据文献用的HF+HNO3+NH4F的水溶液,其中HF占10%但是现象都是这样子的。有人对湿刻比较熟悉吗?求助啊!
湿刻玻璃怎么这么难。。。
玻璃湿刻.jpg
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果想要刻蚀出镜面,最好分两步刻蚀。第一步用浓度高一些的刻蚀液做快速刻蚀。
第二步用低浓刻蚀液慢慢做精密刻蚀。
当然片子的初始表面光洁度很重要,如果有不平肯定会造成刻蚀后面粗度不好。
2楼2013-10-26 09:10:19
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buffer3568

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2013-10-26 09:10:19
如果想要刻蚀出镜面,最好分两步刻蚀。第一步用浓度高一些的刻蚀液做快速刻蚀。
第二步用低浓刻蚀液慢慢做精密刻蚀。
当然片子的初始表面光洁度很重要,如果有不平肯定会造成刻蚀后面粗度不好。

我现在刻蚀时间本身已经只有几秒钟了。。再增加浓度很困难。。另外从我之前做的一些来看,感觉上好像浓度高一些刻出来比浓度低一些刻出来平整一点,但是因为这个发乌的问题,本身刻蚀过程重复性就不好,所以不能确定。

玻璃表面都是用洗涤灵和无尘布仔细清洗过的。表面光洁度应该还可以。我想不通的主要是,像这种一半一半的情况是为啥,这种还经常出现。按说同一块玻璃的清洁度、成分应该基本都是一致的呀。但是也有时可以刻出全透明很好的波导,不过也有时时全是乌突突的,显微镜下看很多小突起的波导。。关键是不知道原因就无法控制无法预知,郁闷死了。。。
3楼2013-10-26 14:16:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by buffer3568 at 2013-10-26 14:16:45
我现在刻蚀时间本身已经只有几秒钟了。。再增加浓度很困难。。另外从我之前做的一些来看,感觉上好像浓度高一些刻出来比浓度低一些刻出来平整一点,但是因为这个发乌的问题,本身刻蚀过程重复性就不好,所以不能确 ...

洗涤灵+无尘布?这么原始的清洗,不可能保证清洗干净。洗完以后用去离子水冲洗了多久?

另外,你的图里面的玻璃是载玻片,这种玻璃是拉制出来的,本身就极不均匀。可以找“静静一yi”买几片BF33玻璃回去试试。
4楼2013-10-26 15:45:40
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

采用标准的玻璃wafer,用双氧水+浓硫酸做标准清洗。
5楼2013-10-27 16:22:18
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

看你的图形线宽要求不高为什么不用激光设备加工呢!
6楼2013-11-04 18:09:03
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罗军王

银虫 (初入文坛)

请问楼主,玻璃上光刻容易吗?
多看多读多学习
7楼2014-02-27 17:23:10
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