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buffer3568

新虫 (小有名气)

[求助] 湿刻玻璃怎么这么难。。。

想在玻璃上做一些波导图样,本来觉得用HF刻蚀应该挺简单的,但是实际操作中发现现象很奇怪,有的时候刻蚀出来就是光亮的,但是有的时候刻蚀出来就是乌突突的,在显微镜下看表面不光滑,有很多小突起。最奇怪的是有的时候刻蚀出来是一半光亮的,一半乌突突的!就像附件图。下面是刻蚀前的样子,用金作的掩膜版图形,而上面的那块是刻蚀完的,再除掉金的玻璃。右边的部分是光亮的,左边的部分就是毛糙的。而这个跟我的放入HF的方式又不对应,我是夹住片子中间的部分放入的,而不是夹在片子的一头。为什么会出现这样不均匀的现象呢?想不通啊!怎么控制让它刻蚀出来一直都是光亮的呢?

我用的HF用过10%的HF水溶液。昨天是根据文献用的HF+HNO3+NH4F的水溶液,其中HF占10%但是现象都是这样子的。有人对湿刻比较熟悉吗?求助啊!
湿刻玻璃怎么这么难。。。
玻璃湿刻.jpg
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

看你的图形线宽要求不高为什么不用激光设备加工呢!
6楼2013-11-04 18:09:03
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