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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 湿刻玻璃怎么这么难。。。
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buffer3568

新虫 (小有名气)

[求助] 湿刻玻璃怎么这么难。。。

想在玻璃上做一些波导图样，本来觉得用HF刻蚀应该挺简单的，但是实际操作中发现现象很奇怪，有的时候刻蚀出来就是光亮的，但是有的时候刻蚀出来就是乌突突的，在显微镜下看表面不光滑，有很多小突起。最奇怪的是有的时候刻蚀出来是一半光亮的，一半乌突突的！就像附件图。下面是刻蚀前的样子，用金作的掩膜版图形，而上面的那块是刻蚀完的，再除掉金的玻璃。右边的部分是光亮的，左边的部分就是毛糙的。而这个跟我的放入HF的方式又不对应，我是夹住片子中间的部分放入的，而不是夹在片子的一头。为什么会出现这样不均匀的现象呢？想不通啊！怎么控制让它刻蚀出来一直都是光亮的呢？

我用的HF用过10%的HF水溶液。昨天是根据文献用的HF+HNO3+NH4F的水溶液，其中HF占10%但是现象都是这样子的。有人对湿刻比较熟悉吗？求助啊！
湿刻玻璃怎么这么难。。。
玻璃湿刻.jpg
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1楼 2013-10-26 08:33:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by buffer3568 at 2013-10-26 14:16:45
我现在刻蚀时间本身已经只有几秒钟了。。再增加浓度很困难。。另外从我之前做的一些来看，感觉上好像浓度高一些刻出来比浓度低一些刻出来平整一点，但是因为这个发乌的问题，本身刻蚀过程重复性就不好，所以不能确 ...

洗涤灵＋无尘布？这么原始的清洗，不可能保证清洗干净。洗完以后用去离子水冲洗了多久？

另外，你的图里面的玻璃是载玻片，这种玻璃是拉制出来的，本身就极不均匀。可以找“静静一yi”买几片BF33玻璃回去试试。
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4楼2013-10-26 15:45:40
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果想要刻蚀出镜面，最好分两步刻蚀。第一步用浓度高一些的刻蚀液做快速刻蚀。
第二步用低浓刻蚀液慢慢做精密刻蚀。
当然片子的初始表面光洁度很重要，如果有不平肯定会造成刻蚀后面粗度不好。
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2楼2013-10-26 09:10:19
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buffer3568

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2013-10-26 09:10:19
如果想要刻蚀出镜面，最好分两步刻蚀。第一步用浓度高一些的刻蚀液做快速刻蚀。
第二步用低浓刻蚀液慢慢做精密刻蚀。
当然片子的初始表面光洁度很重要，如果有不平肯定会造成刻蚀后面粗度不好。

我现在刻蚀时间本身已经只有几秒钟了。。再增加浓度很困难。。另外从我之前做的一些来看，感觉上好像浓度高一些刻出来比浓度低一些刻出来平整一点，但是因为这个发乌的问题，本身刻蚀过程重复性就不好，所以不能确定。

玻璃表面都是用洗涤灵和无尘布仔细清洗过的。表面光洁度应该还可以。我想不通的主要是，像这种一半一半的情况是为啥，这种还经常出现。按说同一块玻璃的清洁度、成分应该基本都是一致的呀。但是也有时可以刻出全透明很好的波导，不过也有时时全是乌突突的，显微镜下看很多小突起的波导。。关键是不知道原因就无法控制无法预知，郁闷死了。。。
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3楼2013-10-26 14:16:45
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

采用标准的玻璃wafer，用双氧水+浓硫酸做标准清洗。
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5楼2013-10-27 16:22:18
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