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dearmaximus

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[交流] 纳米线器件光刻的问题已有1人参与

纳米线分散在氧化硅-片表面，旋涂光刻胶，发现纳米线总是脱离氧化硅表面悬浮在光刻胶里，如何才能让纳米线和氧化硅表面始终保持紧密接触？

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1楼 2013-10-19 10:02:18

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lvyiyilv

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2楼2013-10-19 11:03:32

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2楼: Originally posted by lvyiyilv at 2013-10-19 11:03:32
退火

多谢！

3楼2013-10-20 17:51:00

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