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¡¾±êÌâ¡¿Enhanced Field Emission from Well-Patterned Silicon Nanoporous Pillar Arrays ¡¾×÷Õß¡¿¸»Ð¦ÄÐ[1,2] Àîн¨[2] ¡¾¹Ø¼ü´Ê¡¿³¡·¢Éä ÄÉÃ×¹è¶à¿×ÉøË®ÖùÕóÁÐ Si-NPA ÈÈˮʴ¿Ì·¨ ¡¾¿¯Ãû¡¿ÖйúÎïÀí¿ì±¨£ºÓ¢Îİæ 2006-23-8 ¡¾ISSN¡¿0256-307X ¡¾»ú¹¹¡¿[1]College of Science, Henan University of Technology, Zhengzhou 450052 [2]School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052 ¡¾ÕªÒª¡¿ ¡¾ÏÂÔØÂÛÎÄ¡¿Enhanced Field Emission from Well-Patterned Silicon Nanoporous Pillar Arrays ¡¾±êÌâ¡¿¼òµ¥Ê´¿Ì·¨ÖƱ¸¾ßÓпɿظ߶ȵĽðÊôÄÉÃ×ÏßÕóÁÐ ¡¾×÷Õß¡¿³Â¶« Ëιú¾ý ÅíÖÇ ÙÜÏ£ÁÖ À½ º«Æ¼ ¡¾¹Ø¼ü´Ê¡¿ÄÉÃ×ÏßÕóÁÐ µç³Á»ý AAO Ê´¿Ì Á׸õËá ¡¾¿¯Ãû¡¿¹¦ÄܲÄÁÏÓëÆ÷¼þѧ±¨ 2007-13-4 ¡¾ISSN¡¿1007-4252 ¡¾»ú¹¹¡¿Çൺ´óѧ¸ß·Ö×Ó²ÄÁÏÑо¿Ëù,Çൺ266071 ¡¾ÕªÒª¡¿²ÉÓöà¿×Ñô¼«Ñõ»¯ÂÁ£¨AAO£©×÷Ϊģ°å,ÔËÓõ绯ѧ³Á»ý·¨ÔÚÄ£°åµÄ΢¿×ÖÐ×é×°½ðÊôNiÄÉÃ×Ïß,È»ºóÓÃÁ׸õËáÊ´¿Ì±í²ãAAOÄ£°å,±©Â¶³ö¹æÕûÓÐÐò¡¢¾ßÓпɿس¤¶ÈµÄNiÄÉÃ×ÏßÕóÁÐ.·Ö±ðÓÃSEM¡¢TEMÓëSAED¶ÔNiÄÉÃ×ÏßÕóÁнøÐÐÁ˱íÕ÷.Ñо¿ÁËÊ´¿Ìʱ¼äÓëAAOÄ£°åÖÊÁ¿µÄ¼õÉÙ¼°±©Â¶³öÀ´µÄNiÄÉÃ×ÏßÕóÁ㤶ÈÖ®¼äµÄ¹ØÏµ.½á¹û±íÃ÷,Á׸õËáÊǽÏNaOHÈÜÒº¸üΪκÍÓÐЧµÄAAOÄ£°åÊ´¿Ì¼Á,ͨ¹ý¿ØÖÆÄ£°åÈܽâʱ¼ä,¿ÉÒÔʵÏÖ¶ÔÂã¶ÓÚAAOÄ£°åÍâÄÉÃ×Ïß³¤¶ÈµÄ¾«Ï¸ÓÐЧ¿ØÖÆ.¸ÃÊ´¿Ì·½·¨ÆÕ±éÊÊÓÃÓÚÒÔAAOΪģ°åËùÖÆµÃµÄ׼һάÄÉÃ×ÕóÁнṹ. ¡¾ÏÂÔØÂÛÎÄ¡¿¼òµ¥Ê´¿Ì·¨ÖƱ¸¾ßÓпɿظ߶ȵĽðÊôÄÉÃ×ÏßÕóÁÐ ±êÌâ¡¿·ÇË®ÄÉÃ×·ÖɢϵµÄÀ䶳ʴ¿Ìµç¾µ±íÕ÷¼°Ó뼤¹âÉ¢Éä·¨µÄ¶Ô±ÈÑо¿ ¡¾×÷Õß¡¿Ð¤Åô[1] Å·ÖÒÎÄ[1,2,3] ÕÅÔÆ»³[1] Ðì±õÊ¿[3] ¶¡ÅàµÀ[1] ¡¾¹Ø¼ü´Ê¡¿ÔλºÏ³É ·ÇË®ÄÉÃ×·Öɢϵ À䶳ʴ¿Ì À䶳ʴ¿Ìµç¾µ ¼¤¹âÉ¢Éä·¨ ¡¾¿¯Ãû¡¿·ÖÎö²âÊÔѧ±¨ 2006-25-3 ¡¾ISSN¡¿1004-4957 ¡¾»ú¹¹¡¿[1]ÖØÇì´óѧÊýÀíѧԺ,ÖØÇì400044 [2]½â·Å¾üºóÇÚ¹¤³ÌѧԺ,ÖØÇì400041 [3]½â·Å¾ü×°¼×±ø¹¤³ÌѧԺװ±¸ÔÙÖÆÔì¼¼Êõ¹ú·À¿Æ¼¼ÖصãʵÑéÊÒ,±±¾©100072 ¡¾ÕªÒª¡¿±¨µÀÁËÀûÓøĽøµÄÀ䶳ʴ¿ÌÖÆÑù¼¼Êõ¶Ô·ÇË®½éÖÊÖÐÔλºÏ³ÉµÄÄÉÃ×·Öɢϵ½øÐеĵç×ÓÏÔ΢¾µ±íÕ÷½á¹û¡£Ñо¿ÁËÀ䶳ʴ¿Ìµç¾µ¼¼Êõ¹Û²âÔλºÏ³ÉÄÉÃ×·ÖɢϵµÄÖÆÑù²½Öè¡¢ÖÆÑù·½·¨£¬²¢ÀûÓÃÀ䶳ʴ¿Ìµç¾µ¼¼ÊõÔλ¹Û²âÁË3ÖÖÄÉÃ×·ÖÉ¢ÏàµÄÁ£¾¶¡¢Á£¾¶·Ö²¼ºÍ¾Û¼¯×´Ì¬¡£¼¤¹âÉ¢Éä·¨ÓëÀ䶳ʴ¿Ìµç¾µ±íÕ÷µÄ¶Ô±È±íÕ÷½á¹û±íÃ÷£ºÄÉÃ×·ÖɢϵÖÐÄÉÃ×ÏàµÄÁ£¾¶ºÍÁ£¾¶·Ö²¼ÓÃÁ½ÖÖ±íÕ÷·½·¨ËùµÃ½á¹û»ù±¾Ò»Ö£¬µ«À䶳ʴ¿Ìµç¾µ±íÕ÷Ó뼤¹âÉ¢Éä·¨Ïà±È¾ßÓÐ׼ȷ¡¢Ö±¹Û¡¢ÇåÎú¡¢Á¢ÌåµÄÌØµã£¬²¢ÇÒ¿Éͬʱ²É¼¯¶àÖÖÐÅÏ¢¡£Ó뼤¹âÉ¢Éä·¨Ïà±È£¬ÊÇÒ»ÖÖ±íÕ÷·ÇË®ÄÉÃ×·ÖɢϵµÄÀíÏë·½·¨¡£ ¡¾ÏÂÔØÂÛÎÄ¡¿·ÇË®ÄÉÃ×·ÖɢϵµÄÀ䶳ʴ¿Ìµç¾µ±íÕ÷¼°Ó뼤¹âÉ¢Éä·¨µÄ¶Ô±ÈÑо¿ ¡¾±êÌâ¡¿x¹âÄÉÃ×¹â¿ÌÑÚÄ£µÄÀë×ÓÊøÖÆ±¸·¨ ¡¾×÷Õß¡¿º«Ó ÅíÁ¼Ç¿ µÈ ¡¾¹Ø¼ü´Ê¡¿ÄÉÃ×¹â¿Ì ÄÉÃ×Ïß x¹âÑÚÄ£ Àë×ÓÊøÖÆ±¸·¨ ¡¾¿¯Ãû¡¿Î¢Äɵç×Ó¼¼Êõ 2002-39-1 ¡¾ISSN¡¿1671-4776 ¡¾»ú¹¹¡¿Öйú¿ÆÑ§Ôº¸ßÄÜÎïÀíËù£¬±±¾©100039 ¡¾ÕªÒª¡¿ÖØÀë×ÓÊøºä»÷¾Û̼Ëáõ¥ºó£¬¶ÔÑùÆ·½øÐг»¯ºÍ×ÏÍâÏßÕÕÉäÃô»¯£¬ÔÚÓÅ»¯Ìõ¼þÏÂÊ´¿ÌºóµÃµ½ÄÉÃ׿׾¶ºË¿×Ĥ£¬ÀûÓõ绯ѧ³Á»ý¼¼ÊõÔں˿×ĤÖÐÖÆ±¸ÁË×îС¿×¾¶Îª30ÄÉÃ×µÄÍÄÉÃ×Ïß¡£»ñµÃµÄÍÄÉÃ×Ïߣ¯¾Û̼Ëáõ¥¿ÉÒÔ×÷Ϊx¹âÄÉÃ×¹â¿ÌµÄÑÚÄ£¡£ ¡¾ÏÂÔØÂÛÎÄ¡¿x¹âÄÉÃ×¹â¿ÌÑÚÄ£µÄÀë×ÓÊøÖÆ±¸·¨ ÓкܶàÎÄÕµģ¬Â¥Ö÷¿ÉÒÔµ½ÖªÍøËÑ¡°ÄÉÃ×Ê´¿Ì¡±¡£ |

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