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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 请问在微纳加工领域的PDMS或者PMMA的用途有什么呢？
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匿名


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1楼 2013-10-18 14:24:48
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
★
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PDMS做软光刻，PMMA做电子束光刻。我更喜欢用PMMA做微注塑
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5楼2013-11-08 08:24:38
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匿名


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2楼2013-10-18 14:25:20
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siqxing

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没错，PMMA是一种电子束光刻胶，其分子链经电子束曝光后会断裂，显影并清除残胶后可以得到需要的图形。其作用是保护晶圆使只有通过显影曝光后的部分可以加工，类似于照相中的底片。PDMS用于图形转移基本上就是用于微接触印刷，首先还是要经电子束曝光得到高分辨率的PMMA图形，然后将PDMS在图形上形成薄膜，固化后二者可以分开，此后PDMS的作用就类似一个印章，蘸上“墨水”将其表面的图形转移到基底材料表面去。
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3楼2013-11-04 16:30:06
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fuzhangwu

铁虫 (初入文坛)
★
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PMMA是一种正性光刻胶，曝光的地方可以被显影液洗掉，就可以得到你所设计的微结构。将PDMS浇注到你所曝光的PMMA上面，就可以得到阴性微结构，固化后的PDMS就成了一个具有微结构图案的印章，蘸上墨水就可以印刷了。
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4楼2013-11-07 23:05:11
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